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          我國研制出世界首個(gè)氮化鎵量子光源芯片

          • 據(jù)天府絳溪實(shí)驗(yàn)室官微消息,近日,電子科技大學(xué)信息與量子實(shí)驗(yàn)室、天府絳溪實(shí)驗(yàn)室量子互聯(lián)網(wǎng)前沿研究中心與清華大學(xué)、中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所合作,在國際上首次研制出氮化鎵量子光源芯片,這是電子科技大學(xué)“銀杏一號(hào)”城域量子互聯(lián)網(wǎng)研究平臺(tái)取得的又一項(xiàng)重要進(jìn)展,也是天府絳溪實(shí)驗(yàn)室在關(guān)鍵核心技術(shù)領(lǐng)域取得的又一創(chuàng)新成果。據(jù)悉,研究團(tuán)隊(duì)通過迭代電子束曝光和干法刻蝕工藝,攻克高質(zhì)量氮化鎵晶體薄膜生長、波導(dǎo)側(cè)壁與表面散射損耗等技術(shù)難題,在國際上首次將氮化鎵材料運(yùn)用于量子光源芯片。目前,量子光源芯片多使用氮化硅等材料
          • 關(guān)鍵字: 氮化鎵  量子光芯片  
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          量子光芯片介紹

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