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防微振
防微振 文章 進(jìn)入防微振技術(shù)社區(qū)
防微振技術(shù)使精密生產(chǎn)成為可能
- 防微振技術(shù)廣泛應(yīng)用于電子工業(yè)的各個(gè)領(lǐng)域，從而保證精密設(shè)備能在各種復(fù)雜的振動(dòng)環(huán)境下正常工作。 電子工廠設(shè)計(jì)中的一個(gè)重要環(huán)節(jié)是微污染控制。電子工業(yè)是精密制造業(yè)，由于科技進(jìn)步的日新月異，制造精度已達(dá)到了納米級(jí)。以集成電路為例，制版、光刻等工序需將環(huán)境微振動(dòng)控制在VC-E或VC-F級(jí)，即振動(dòng)速度應(yīng)小于3μm/s或1.5μm/s。對(duì)于TFT-LCD、LED(發(fā)光二極管)及OLED(有機(jī)發(fā)光二極管)來(lái)說，也有較嚴(yán)格的微振動(dòng)控制要求，如曝光機(jī)、涂布機(jī)等在自身會(huì)產(chǎn)生振動(dòng)的情況下，要保證設(shè)備基臺(tái)的振動(dòng)
- 關(guān)鍵字： TFT-LCD LED 防微振 OLED
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防微振介紹
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