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          技術(shù)社區(qū)
          
                        
					
          

					
          
				
          		
				
				
          
					
          
						
						
          
						
          
						
          EUV
          
						
                        
          
                        在半導(dǎo)體行業(yè)，EUV一般指EUV光刻，即極紫外光刻。

極紫外光刻（英語：Extreme ultra-violet，也稱EUV或EUVL）是一種使用極紫外（EUV）波長的光刻技術(shù)。

EUV光刻采用波長為10-1......	
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					  					  EUV
					  					  
          
					
          

          
				
          			
          
		
          

		
		
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