BEOL
BEOL就是制程的后道,形成Device的鏈接組合并引出PAD 對于beol(后線)的清洗,除了顆粒問題和金屬離子的問題,通常的問題是陰離子、多晶硅柵的完整性、接觸電阻、過孔的清潔程度、有機物以及在金屬布線中總...... [查看詳細]