光掩膜
光掩膜(mask)資料: 在半導(dǎo)體制造的整個(gè)流程中,其中一部分就是從版圖到wafer制造中間的一個(gè)過(guò)程,即光掩膜或稱(chēng)光罩(mask)制造。這一部分是流程銜接的關(guān)鍵部分,是流程中造價(jià)最高的一部分,也是限制最小線(xiàn)...... [查看詳細(xì)]