機臺交期延 DRAM廠制程微縮絆腳石
2010年臺DRAM廠將決戰(zhàn)50和40奈米制程技術,但新制程關鍵恐未必在技術上,而在于浸潤式微顯影(Immersion Scanner)機臺設備采購是否能跟上腳步,近期業(yè)界傳出瑞晶機臺原本2月要交貨,但目前交期已遞延至4月,南亞科和華亞科之前亦傳出機臺交貨不及,公司則澄清前期機臺已順利拉進來,轉(zhuǎn)換制程進度一切正常。
本文引用地址:http://www.ex-cimer.com/article/105509.htmDRAM廠決戰(zhàn)50和40奈米制程技術最大挑戰(zhàn)是資金問題,其中,機臺購置成本占相當大比重,由于1臺機臺設備動輒要價新臺幣10億元,且每臺機器產(chǎn)能約僅1萬片,若1座產(chǎn)能達10萬片的12寸晶圓廠要轉(zhuǎn)換制程,光是機臺支出便高達 100億元,因此,大部分DRAM廠2009年都無力轉(zhuǎn)進50奈米制程。
隨著DRAM景氣逐漸復蘇,各廠開始為轉(zhuǎn)進50奈米制程做準備,并針對機臺下訂單,由于從下訂到交貨需要很久時間,日前甚至傳出三星電子(Samsung Electronics)將設備廠機臺產(chǎn)能都包下,使得其它DRAM廠很難訂到貨,趁機阻礙競爭對手制程微縮進度,盡管臺廠與國際大廠聯(lián)合采購機臺較具優(yōu)勢,象是南亞科、華亞科與美光(Micron)共同采購,力晶、瑞晶則與爾必達(Elpida)一起采購,但仍不斷傳出交期遞延消息。
瑞晶原本2月要到貨的機臺已遞延至4月交貨,其計劃第2季將導入45奈米制程;之前則傳出南亞科和華亞科機臺交期延后,但公司澄清前期機臺到貨時程順利,只剩下后期機臺還未進來,但不會影響轉(zhuǎn)換50奈米制程速度。事實上,瑞晶原評估旗下8萬片12寸晶圓產(chǎn)能轉(zhuǎn)進50奈米制程需要10臺機臺,但若轉(zhuǎn)入45奈米制程,在減少光罩數(shù)后,只需要6臺機臺,公司形容這是窮人版制程微縮產(chǎn)品。
爾必達陣營原本2009年評估要導入50奈米制程時,就預定機臺設備,但后來決定跳過50奈米,直攻45奈米制程,機臺拉貨則同步進行。爾必達和力晶、瑞晶2010年將一舉轉(zhuǎn)進45奈米制程,爾必達45奈米2009 年底宣布量產(chǎn),瑞晶將在第2季導入生產(chǎn),2010年底前8萬片產(chǎn)能全數(shù)轉(zhuǎn)進45奈米制程,第1季會先轉(zhuǎn)2萬片產(chǎn)能到63奈米XS版本試水溫,成本可較目前 65奈米制程減少20%。
至于南亞科和華亞科正積極轉(zhuǎn)進50奈米制程,在42奈米制程則將提前1季導入,其系由美光和南亞科共同研發(fā),該陣營對于42奈米制程相當具信心,認為是目前40奈米制程世代成本競爭力最佳者。
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