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          沈陽IC裝備基地升格“國家級” 投入資金4億元 
          
						
          
				作者：
				時間：2010-02-05
				來源：遼寧日報
				
				
				
				
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          　　記者從沈陽市渾南新區(qū)獲悉，由沈陽市政府與渾南新區(qū)共同組織申報的“沈陽集成電路(IC)裝備產(chǎn)業(yè)化基地”項目，被科技部正式批準為“沈陽國家集成電路裝備高新技術產(chǎn)業(yè)化基地”。這是目前科技部認定的國內(nèi)唯一一個國家集成電路裝備產(chǎn)業(yè)化基地。
          本文引用地址：http://www.ex-cimer.com/article/105890.htm

          　　沈陽集成電路裝備產(chǎn)業(yè)始建于2002年，累計投入資金4億多元。經(jīng)過多年的建設，集成電路裝備生產(chǎn)企業(yè)已從最初的兩家發(fā)展到現(xiàn)在的37家，其中，骨干企業(yè)達到11家，申報專利近100項?；刂鲗Мa(chǎn)品已在國內(nèi)半導體加工、醫(yī)療器械、太陽能電池等行業(yè)得到廣泛應用。
          

          　　目前，沈陽集成電路裝備產(chǎn)業(yè)基地建有集成電路裝備檢測、精密零部件加工和潔凈技術平臺，擁有目前國內(nèi)唯一的集成電路裝備孵化器，正在孵化的企業(yè)已達30余家。
          
				
            
                
			
							
          
                
			              
              
            
          
		
          
		
          
		
          
		
          
		
          
			
            
				
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