國(guó)內(nèi)首臺(tái)高端LED刻蝕機(jī)交付使用

　　近日，由北方微電子開(kāi)發(fā)的ELEDETM330高密度等離子ICP刻蝕機(jī)完成組裝調(diào)試，正式交付客戶(hù)使用。ELEDETM330是北方微電子半導(dǎo)體刻蝕技術(shù)在LED領(lǐng)域的成功擴(kuò)展，該設(shè)備的成功上線，標(biāo)志著國(guó)產(chǎn)LED刻蝕設(shè)備已得到主流生產(chǎn)線的認(rèn)可，使我國(guó)高端LED設(shè)備的國(guó)產(chǎn)化水平得到了新的提升。

　　北方微電子多年來(lái)一直致力于半導(dǎo)體高端工藝裝備的研發(fā)與制造。2009年北方微電子借助半導(dǎo)體刻蝕設(shè)備領(lǐng)域積累的豐富經(jīng)驗(yàn)，開(kāi)發(fā)了專(zhuān)為L(zhǎng)ED生產(chǎn)領(lǐng)域的刻蝕應(yīng)用而全新設(shè)計(jì)的感應(yīng)耦合高密度等離子體刻蝕機(jī)。作為我國(guó)首臺(tái)直接面向LED生產(chǎn)線的大產(chǎn)能刻蝕設(shè)備，ELEDE™330可滿(mǎn)足藍(lán)寶石襯底圖形化刻蝕、Si襯底刻蝕以及GaN基外延層刻蝕等LED領(lǐng)域所有刻蝕應(yīng)用。ELEDE™330采用了適用于大規(guī)模生產(chǎn)的高產(chǎn)能設(shè)計(jì)，一次可完成27片2英寸GaN基外延層刻蝕或22片2英寸藍(lán)寶石襯底刻蝕，大大提高設(shè)備產(chǎn)出效率;系統(tǒng)集成了高密度等離子體源、高壽命機(jī)械卡盤(pán)、精密的腔室溫度控制系統(tǒng)、穩(wěn)定的高精度壓力控制系統(tǒng)、IC標(biāo)準(zhǔn)的中央噴嘴進(jìn)氣系統(tǒng)和IC級(jí)別的腔室表面處理等多項(xiàng)先進(jìn)技術(shù)，用IC刻蝕工藝更為精密的設(shè)計(jì)要求來(lái)實(shí)現(xiàn)LED領(lǐng)域更高性能的刻蝕工藝，以更大程度地提高LED芯片的發(fā)光效率。

　　雖然有個(gè)濃厚的國(guó)企背景，但北方微電子正穩(wěn)步走在市場(chǎng)化的道路上。據(jù)介紹，北方微電子IC刻蝕正在進(jìn)行32nm技術(shù)的研發(fā)，努力追趕世界的腳步。同時(shí)依托多年來(lái)技術(shù)的積累，北方微電子在PV與LED刻蝕領(lǐng)域積極開(kāi)發(fā)除了市場(chǎng)化的產(chǎn)品，讓業(yè)界感受到了國(guó)際化技術(shù)與本土化價(jià)格和服務(wù)的魅力。