國內首臺高端LED刻蝕機交付使用

　　近日，由北方微電子開發(fā)的ELEDETM330高密度等離子ICP刻蝕機完成組裝調試，正式交付客戶使用。ELEDETM330是北方微電子半導體刻蝕技術在LED領域的成功擴展，該設備的成功上線，標志著國產LED刻蝕設備已得到主流生產線的認可，使我國高端LED設備的國產化水平得到了新的提升。

　　北方微電子多年來一直致力于半導體高端工藝裝備的研發(fā)與制造。2009年北方微電子借助半導體刻蝕設備領域積累的豐富經驗，開發(fā)了專為LED生產領域的刻蝕應用而全新設計的感應耦合高密度等離子體刻蝕機。作為我國首臺直接面向LED生產線的大產能刻蝕設備，ELEDE™330可滿足藍寶石襯底圖形化刻蝕、Si襯底刻蝕以及GaN基外延層刻蝕等LED領域所有刻蝕應用。ELEDE™330采用了適用于大規(guī)模生產的高產能設計，一次可完成27片2英寸GaN基外延層刻蝕或22片2英寸藍寶石襯底刻蝕，大大提高設備產出效率;系統(tǒng)集成了高密度等離子體源、高壽命機械卡盤、精密的腔室溫度控制系統(tǒng)、穩(wěn)定的高精度壓力控制系統(tǒng)、IC標準的中央噴嘴進氣系統(tǒng)和IC級別的腔室表面處理等多項先進技術，用IC刻蝕工藝更為精密的設計要求來實現(xiàn)LED領域更高性能的刻蝕工藝，以更大程度地提高LED芯片的發(fā)光效率。

　　雖然有個濃厚的國企背景，但北方微電子正穩(wěn)步走在市場化的道路上。據介紹，北方微電子IC刻蝕正在進行32nm技術的研發(fā)，努力追趕世界的腳步。同時依托多年來技術的積累，北方微電子在PV與LED刻蝕領域積極開發(fā)除了市場化的產品，讓業(yè)界感受到了國際化技術與本土化價格和服務的魅力。