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          Rudolph Technologies獲MEMS檢測設(shè)備訂單
          
						
          
				作者：
				時間：2010-07-14
				來源：Rudolph 
				
				
				
				
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          　　工藝表征設(shè)備和軟件供應(yīng)商Rudolph Technologies宣布，其NSX Series Macro Inspection System獲得了來自德國ISIT的訂單，用于先進(jìn)MEMS工藝的開發(fā)。該設(shè)備將于今年夏天安裝于ISIT的先進(jìn)200mm MEMS試水線上。
          本文引用地址：http://www.ex-cimer.com/article/110856.htm          
				
            
                
			
							
          
                
			              
              
            
          
		
          
		
          
		
          
		
          
		
          
			
            
				
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            			            MEMS
                        200mm
                        
            
          
            
			
          
		
          	
		

	

          
	
	
          
		
          
			
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