Immersion機(jī)臺缺貨　臺DRAM廠改采購舊機(jī)種應(yīng)急

　　全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)走入50奈米制程后，浸潤式曝光機(jī)臺(Immersion Scanner)出現(xiàn)大缺貨，尤其是最新款的NXT:1950i機(jī)種上，交期幾乎拉到快12個月，使得2010年才下訂單的臺系DRAM廠苦等多時;存儲器業(yè)者透露，爾必達(dá)(Elpida)陣營開始轉(zhuǎn)向采購舊機(jī)種XT:1950i應(yīng)急。然美光(Micron)陣營則認(rèn)為，舊機(jī)種頂多用到40奈米制程就是極限，不像新機(jī)種NXT:1950i可以一路做到30奈米。

　　半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)在進(jìn)入50奈米以下制程，都必須開始用Immersion Scanner，此機(jī)器設(shè)備1臺價格高達(dá)新臺幣10億~20億元，過去2年DRAM產(chǎn)業(yè)不景氣時，臺系廠商根本沒有資金可以去預(yù)定機(jī)臺，因此設(shè)備商 ASML現(xiàn)在交貨都以臺積電、三星電子(Samsung Electronics)、東芝(Toshiba)等大廠為主，臺灣DRAM廠轉(zhuǎn)制程的進(jìn)度也因此被嚴(yán)重耽擱。

　　目前4大DRAM陣營當(dāng)中，三星和海力士(Hynix)等韓系大廠早已拿到Immersion Scanner機(jī)臺，不但已經(jīng)量產(chǎn)50奈米制程，也開始大量轉(zhuǎn)進(jìn)30奈米，美光陣營由于資金充足，Immersion Scanner機(jī)臺近期也都陸續(xù)到貨，只剩下爾必達(dá)陣營的Immersion Scanner機(jī)臺到位時程最晚。

　　存儲器業(yè)者透露，爾必達(dá)陣營中的臺系DRAM廠，日前也決定放棄等待交期長達(dá)12個月的新機(jī)種NXT:1950i，轉(zhuǎn)向采購舊機(jī)種XT:1950i，一來不用等太久，二來 XT:1950i機(jī)種比NXT:1950i便宜約20%，可以節(jié)省支出費(fèi)用。

　　然而，ASML 新一代的NXT:1950i標(biāo)榜可以因應(yīng)到30奈米制程的技術(shù)，且產(chǎn)出速度更快，1小時?出可達(dá)175~200片晶圓，但舊機(jī)種XT:1950i可能只能因應(yīng)到40奈米制程，屆時如果要再導(dǎo)入30奈米世代制程，就要再花錢更新機(jī)臺。

　　目前兩陣營各有各的說詞，美光陣營由于資金充裕且預(yù)定的時間點(diǎn)早，因此策略是傾向是一步到位，全數(shù)都采購最新的NXT:1950i，因應(yīng)美光、南亞科和華亞科計劃2011年將要開始導(dǎo)入35奈米，屆時不用再更新機(jī)臺。

　　然爾必達(dá)陣營確認(rèn)為，舊機(jī)種XT:1950i雖然只能做到40奈米世代，但現(xiàn)在要搶時效比較重要，Immersion Scanner機(jī)臺越早進(jìn)入，越可以快速轉(zhuǎn)進(jìn)42奈米制程，拉進(jìn)與同業(yè)間的距離，等到30奈米世代時，其實(shí)只要再補(bǔ)足一些機(jī)臺就可以繼續(xù)轉(zhuǎn)進(jìn)，并不需要全數(shù)更換。

　　DRAM業(yè)者認(rèn)為，爾必達(dá)陣營為了搶時效采購XT:1950i世代的機(jī)器未必是壞事，如果現(xiàn)在不趕緊轉(zhuǎn)進(jìn)42奈米制程，光是靠63 奈米制程支撐，雖然成本結(jié)構(gòu)仍有優(yōu)勢，但卻沒有2Gb產(chǎn)品可以滿足客戶的需要。

　　DRAM業(yè)者進(jìn)一步分析，爾必達(dá)一向擅長利用現(xiàn)有制程微縮，以最少的費(fèi)用創(chuàng)造最大的效應(yīng)，象是這次從65奈米微縮成的63奈米就是杰作之一，其成本效應(yīng)和50奈米不相上下，但投資金額卻降至最低。

　　未來到40奈米以下，爾必達(dá)也利用微縮技術(shù)的優(yōu)勢做了3個版本的技術(shù)，包括40奈米4F2技術(shù)、35奈米和38奈米，屆時會看哪里個制程夠成熟，再選擇量產(chǎn)哪里項(xiàng)技術(shù)，若幸運(yùn)的話，XT:1950i在未來1年半之內(nèi)都可以持續(xù)使用，屆時需要再添購部分的NXT:1950i機(jī)臺時，Immersion Scanner機(jī)臺的缺貨荒可以早已解除。