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Mattson Technology獲得光刻膠剝離系統(tǒng)新訂單

作者：時間：2010-10-09 來源：SEMI

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　　先進(jìn)半導(dǎo)體工藝設(shè)備供應(yīng)商Mattson Technology日前宣布從一家亞洲新客戶處獲得了Suprema光刻膠剝離系統(tǒng)訂單。該系統(tǒng)可用于先進(jìn)邏輯器件生產(chǎn)，包括前端工藝及后端工藝。預(yù)計這些系統(tǒng)將于第四季度出貨。

本文引用地址：http://www.ex-cimer.com/article/113309.htm

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