國產(chǎn)LED生產(chǎn)設備將亮相秋季中國電子展

　　兩家LED和太陽能生產(chǎn)設備巨頭今年二季度的財報相信會讓國人暗生艷羨卻又很不是滋味：Veeco Instruments 2010年第二季度的營收達2.53億美元，與2009年同期相比年增251.4%;Aixtron 2010年第二季度的營收達1.918億歐元，年增238%。正是固態(tài)照明產(chǎn)業(yè)和可再生能源產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展讓這兩家分別位于美國和德國的企業(yè)賺得是盆滿缽滿，中國相關生產(chǎn)企業(yè)和資本在其中也可謂“貢獻”良多，例如，有機構預計，2010年Aixtron和Veeco的MOCVD將有35%以上是賣到中國大陸。

　　如何發(fā)展國產(chǎn)的太陽能和LED生產(chǎn)設備，降低生產(chǎn)成本，是關乎中國綠色節(jié)能產(chǎn)業(yè)健康發(fā)展的重大命題。目前國產(chǎn)太陽能光伏設備在國內(nèi)用戶中已建立起良好的信譽，得到業(yè)界的廣泛認可，越來越多的客戶從國產(chǎn)設備使用中受益。中國光伏設備企業(yè)已基本具備太陽能電池制造整線裝備能力，部分產(chǎn)品如擴散爐、等離子刻蝕機等開始少量出口，擴散爐、等離子刻蝕機、清洗/制絨機、石英管清洗機、低溫烘干爐)已在國內(nèi)生產(chǎn)線占據(jù)主導地位，管式PECVD、快速燒結爐和進口設備并存但份額在逐步增大，全自動絲網(wǎng)印刷機、自動分撿機、平板式PECVD則基本依賴進口。

　　即將參展第76屆中國電子展暨亞洲電子展(上海)的青島華旗科技有限公司就是一家專業(yè)的半導體工藝設備及先進材料專用設備研發(fā)、制造廠家，致力于為半導體集成電路分立器件、太陽能電池、半導體照明LED及磁性材料廠家提供先進的專用設備,工藝涵蓋化合物半導體晶體生長、外延、薄膜淀積(氮化硅、氧化硅、多晶硅等)、氧化擴散退火(含快速退火工藝)合金、真空燒結等工藝。該公司最新推出的JDF200-3FS太陽能電池擴散爐可供太陽能電池片生產(chǎn)線上125mm×125mm 、156mm×156mm方片擴散、氧化、退火等工藝使用。

　　另一家參展商青島賽瑞達設備制造有限公司也將展示低壓化學氣相淀積設備、等離子增強化學氣相淀積設備和SRD-VGF單晶爐設備。其LPCVD用于淀積薄膜Poly-Si、Si3N4、SiO2、磷硅玻璃、硼磷硅玻璃、非晶硅及難熔金屬硅化物等多種薄膜。

　　在LED照明方面，中國的大功率特性襯底技術、加工穩(wěn)定性以及對外延效率的提升率與國外相比，差距逐漸縮小，但是上游生產(chǎn)性外延設備一直主要依賴進口昂貴的國外產(chǎn)品。MOCVD等關鍵設備對LED產(chǎn)業(yè)發(fā)展具有舉足輕重的作用，有識之士都呼吁中國相關部門要集中人才和資源進行重點開發(fā)，解決制造設備中的關鍵技術，掌握具有自主產(chǎn)權的核心技術，并盡早實現(xiàn)LED生產(chǎn)設備國產(chǎn)化量產(chǎn)。只有這樣才會加快推動LED產(chǎn)業(yè)發(fā)展，降低LED相關產(chǎn)品的成本，實現(xiàn)健康、迅速地發(fā)展。

　　可喜的是，即將在第76屆中國電子展亮相的國產(chǎn)LED生產(chǎn)設備為人們點燃了希望，以青島華旗科技和青島賽瑞達為代表的一批中國設備制造商在關注太陽能電池市場的同時，正把目光投向LED、LCD、電力電子器件等市場應用領域，并保持住價格優(yōu)勢，在新一輪的競爭中爭取更大的市場空間。他們或將成為改變中國乃至世界LED生產(chǎn)設備市場格局的重要力量。