國(guó)產(chǎn)LED生產(chǎn)設(shè)備將亮相秋季中國(guó)電子展

　　圖2就是青島華旗科技的一款適用于化合物半導(dǎo)體-LED/半導(dǎo)體照明等科研領(lǐng)域的外延及晶體生長(zhǎng)MOCVD系統(tǒng)。該系統(tǒng)由生長(zhǎng)室、氣源、氣體控制系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、整機(jī)的計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)等組成，系統(tǒng)各工藝參數(shù)均可由計(jì)算機(jī)自動(dòng)控制(WINDOW 界面)。該產(chǎn)品可滿足2"多片晶圓，支持GaN/GaAs等薄膜工藝、采用電阻加熱/感應(yīng)加熱的結(jié)構(gòu)形式，生產(chǎn)能力為2英寸1、3、6片。另外，該公司還承擔(dān)了部分國(guó)家863項(xiàng)目(如半導(dǎo)體白光照明GaN生長(zhǎng)的HVPE設(shè)備等)。

　　賽瑞達(dá)公司除了一系列太陽(yáng)能專用設(shè)備之外，也開發(fā)了幾款LED生產(chǎn)設(shè)備，包括LED專用擴(kuò)散爐和專用合金爐。其LED專用擴(kuò)散爐和專用合金爐關(guān)鍵件全部采用進(jìn)口件，具有高可靠性和高抗干擾能力，具有可編程的升、降溫功能，以及有斷電報(bào)警、超溫報(bào)警、極限超溫報(bào)警等多種安全保護(hù)功能。可存儲(chǔ)九條工藝曲線，每條工藝曲線最多有九步，曲線間可以任意鏈接、重復(fù)。另外還具有多種工藝管路，可供用戶隨意靈活配置。賽瑞達(dá)可為客戶提供斜滾式推拉舟系統(tǒng)，石英雙桿推拉舟系統(tǒng)及SiC漿推拉舟系統(tǒng)的靈活選擇。

　　上游設(shè)備的成功本土化離不開下游外延芯片廠、LED封裝廠、模塊乃至燈具供應(yīng)商、后端設(shè)備商的配合與支持。據(jù)悉，本屆秋季中國(guó)電子展，匯集了真明麗、深圳市穩(wěn)亮電子、李洲科技、寧波升譜電子、常州愛立德電子、臺(tái)灣億光電子、金臺(tái)電子等眾多大中小型LED企業(yè)，以及田中精機(jī)、昆山具良、日特機(jī)械工程、華勝科技、上海富榮電子等一大批后端生產(chǎn)設(shè)備商，并專門開辟了LED照明展區(qū)，為產(chǎn)業(yè)上下游的互動(dòng)提供了良好的互動(dòng)平臺(tái)，有利于促成他們之間的合作。當(dāng)然，就像有些專家指出的，MOCVD等關(guān)鍵裝備的國(guó)產(chǎn)化也是一件體現(xiàn)國(guó)家意志的事情，建議國(guó)家大力地投入，全面地支持去做這件事，特別要注意工藝與設(shè)備的結(jié)合，要鼓勵(lì)外延芯片廠商應(yīng)用國(guó)產(chǎn)設(shè)備，同時(shí)要給予一定的資助。