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	 > 物聯(lián)網與傳感器 > 設計應用 > MEMS慣性傳感器優(yōu)勢解析
          
    
          

          

          


	
	
	

          
	
          
		
          
			
          MEMS慣性傳感器優(yōu)勢解析
          
						
          —— THELMA制程和低成本封裝方法
          
						
          
				作者：
				時間：2010-11-28
				來源：電子產品世界
				
				
				
				
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          本文引用地址：http://www.ex-cimer.com/article/114996.htm

          

           
          

          

          　
          

          

           
          

          

          　　
          

          

          　　參考文獻
          

          　　[1] B. Vigna, “MEMS Epiphany,” MEMS 2009 Conference, Sorrento Italy, January
          

          　　26, 2009.
          

          　　[2] Source, iSuppli Corporation, See: http://www.isuppli.com
          

          　　[3] B. De Masi and S. Zerbini, “Process builds more sensitive structures,” EE Times,
          

          　　November 22, 2004.
          
				
            
                
			
							
          
                
			            
          
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