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          法國研究機(jī)構(gòu)CEA-Leti提升三維芯片封裝能力
          
						
          —— 面向研發(fā)型客戶項(xiàng)目
          
						
          
				作者：
				時間：2011-01-19
				來源：SEMI
				
				
				
				
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          　　法國研究機(jī)構(gòu)CEA-Leti最近開始提升其三維芯片封裝的生產(chǎn)能力，CEA-Leti在Grenoble 有一條300 mm 的CMOS 研發(fā)型生產(chǎn)線，目前專門用于三維芯片封裝的試驗(yàn)。
          本文引用地址：http://www.ex-cimer.com/article/116227.htm

          　　CEA-Leti 稱他們已經(jīng)可以向客戶提供 200 和 300 mm 晶圓的多種封裝技術(shù)和工具，其中包括三維定向光刻、深度刻蝕、介質(zhì)淀積、表面金屬化等。
          
				
            
                
			
							
          
                
			              
              
            
          
		
          
		
          
		
          
		
          
		
          
			
            
				
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          關(guān)鍵詞：
            			            晶圓
                        三維芯片封裝
                        
            
          
            
			
          
		
          	
		

	

          
	
	
          
		
          
			
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