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Altatech Semiconductor獲得德國(guó)科研機(jī)構(gòu)的CVD設(shè)備訂單

作者：時(shí)間：2011-02-13 來(lái)源：Altatech

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　　Altatech Semiconductor獲得了一份多功能AltaCVD平臺(tái)訂單，該訂單來(lái)自德國(guó)慕尼黑Fraunhofer Research Institution。該200mm AltaCVD系統(tǒng)可用于等離子體增強(qiáng)CVD工藝，也可用于低于氣壓的CVD工藝，F(xiàn)raunhofer中心將用該設(shè)備在硅晶圓和SOI晶圓上淀積介質(zhì)層。

本文引用地址：http://www.ex-cimer.com/article/116709.htm

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