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          北方微電子等離子刻蝕系統(tǒng)中標兩項目
          
						
          
				作者：
				時間：2011-02-18
				來源：北方微電子
				
				
				
				
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          　　近日，北京北方微電子基地設備工藝研究中心有限責任公司佳音頻傳，繼高密度等離子刻蝕機中標國家集成電路先導工藝研發(fā)項目后，ELEDE 330高密度等離子ICP刻蝕機中標上海藍光LED項目。ELEDE 330由北方微電子自主研制生產，是我國首臺直接面向LED大生產線的ICP刻蝕系統(tǒng)，實現了北方微電子半導體刻蝕技術在LED領域的成功擴展。此次中標，標志著北方微電子LED刻蝕設備獲得市場主流生產線的充分肯定，使我國高端LED設備的國產化水平得到了新的提升。
          本文引用地址：http://www.ex-cimer.com/article/116935.htm

          　　上海藍光科技有限公司是中央企業(yè)彩虹集團控股的全國首家從事氮化鎵基LED外延片及芯片產業(yè)化生產的企業(yè)，是國家“863”計劃光電子領域成果轉化基地，是國家發(fā)展與改革委員會確定的新材料專項產業(yè)化示范工程項目。
          
				
            
                
			
							
          
                
			              
              
            
          
		
          
		
          
		
          
		
          
		
          
			
            
				
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