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          Imec發(fā)布EUV掩膜缺陷評估方面的成果
          
						
          
				作者：
				時間：2011-04-20
				來源：Imec 
				
				
				
				
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          　　Imec聯(lián)合合作伙伴發(fā)布兩份EUV掩膜評估結果，結果顯示EUV供應商須在檢測掩膜缺陷能力方面進行改善。并與Zeiss SMS合作通過實驗演示了一項消除缺陷的補償技術。
          本文引用地址：http://www.ex-cimer.com/article/118835.htm          
				
            
                
			
							
          
                
			              
              
            
          
		
          
		
          
		
          
		
          
		
          
			
            
				
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          關鍵詞：
            			            Imec
                        EUV掩膜
                        
            
          
            
			
          
		
          	
		

	

          
	
	
          
		
          
			
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