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          Imec發(fā)布EUV掩膜缺陷評估方面的成果
          
						
          
				作者：
				時(shí)間：2011-04-20
				來源：Imec 
				
				
				
				
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          　　Imec聯(lián)合合作伙伴發(fā)布兩份EUV掩膜評估結(jié)果，結(jié)果顯示EUV供應(yīng)商須在檢測掩膜缺陷能力方面進(jìn)行改善。并與Zeiss SMS合作通過實(shí)驗(yàn)演示了一項(xiàng)消除缺陷的補(bǔ)償技術(shù)。
          本文引用地址：http://www.ex-cimer.com/article/118835.htm          
				
            
                
			
							
          
                
			              
              
            
          
		
          
		
          
		
          
		
          
		
          
			
            
				
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