并行參數(shù)測試轉(zhuǎn)向異步方式

并行測試是一種提高產(chǎn)量的常勝方法，而異步并行測試一直被認為是一種能顯著改進生產(chǎn)能力，同時最大限度的使用現(xiàn)有測試硬件的一種有效方式(參考文獻 1)，新穎之處在于將并行技術(shù)應用于半導體參數(shù)測試。

Keithley Instruments 率先提出了同步并行測試能力的概念，并出版了一本書(在第 22 頁有此問題的評論)，該書討論了并行參數(shù)測試的優(yōu)點，提出了關(guān)于如何將該技術(shù)應用于傳統(tǒng)設(shè)備的提示，并說明了如何設(shè)計新的測試結(jié)構(gòu)，以充分利用并行測試能力的優(yōu)勢。

Keithley 在去年12月發(fā)布了 KTE 交互測試環(huán)境軟件的 5.2 版，用于該公司 S600 系列參數(shù)測試系統(tǒng)。KTE V5.2帶有一個名為PT_Execute的例程，可以對并行測試與順序測試作快速評估。該公司亦增加了一個名為 FMI(強制測量互鎖)的功能，它采用固件和軟件降低并行測試應用中的串擾、噪聲和測量可變性。

現(xiàn)在，Agilent 科技也高調(diào)入場了，它在今年4 月推出的 4080 系列參數(shù)測試平臺上引入了異步并行參數(shù)測試能力。新系統(tǒng)采用 Agilent 稱之為 SPECS(半導體工藝評估核心軟件)的測試殼用以支持同步和異步并行測試。

據(jù) Agilent 的 Hachioji 半導體測試部市場經(jīng)理 Alan Wadsworth 說，4080 參數(shù)測試平臺專為那些使用先進工藝的晶圓代工廠而設(shè)計，包括擴展至 45nm 以下的廠家，那些工程師們需要大量數(shù)據(jù)來應對各種問題，如線寬的變化。除了系統(tǒng)并行測試能力以外，Wadsworth提到4080系列擁有一個比其前身4070系列強大得多的 CPU，他說，光這個新 CPU 就能把傳統(tǒng)順序測試程序的工作量提升 10% ~ 20%。

但是，真正的優(yōu)勢來自于完全使用4080系列異步并行測試能力的開發(fā)程序。Wadsworth稱，異步并行測試時間可以比傳統(tǒng)順序測試方法減少50%。他補充說，異步模式的目標是擠壓出同步并行測試方案中留出的某些無用測量時間(如圖)。

4080有三種型號：4082A完成通用參數(shù)測試;4082F面向NAND/NOR器件的閃存單元參數(shù)測試;而 4083A則帶有一個20GHz 8x10 RF陣列，一次可測量多達五個RF結(jié)構(gòu)。