電容式邊緣傳感器的設(shè)計(jì)
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實(shí)驗(yàn)采用如圖9所示的V1信號(hào)經(jīng)過功率調(diào)整的電壓信號(hào)作為比較信號(hào)，圖10對(duì)應(yīng)C1=C2輸出信號(hào)濾波前后波形，圖11，圖12分別對(duì)應(yīng)C1> C2，C1C2時(shí)的比較信號(hào)和輸出信號(hào)波形。輸出信號(hào)和比較信號(hào)通過相位檢測(cè)電路的輸出結(jié)果如表1所示，實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明微動(dòng)臺(tái)兩平板初始間隙為5μm，該電路能夠檢測(cè)到小于5 nm的平行度。本文引用地址：http://www.ex-cimer.com/article/162235.htm
4 結(jié)語
作為納米級(jí)的電容式邊緣傳感器，可以廣泛應(yīng)用于精密控制領(lǐng)域。在天文上。能夠檢測(cè)到5nm的平行度的傳感器，可以應(yīng)用于光學(xué)鏡面調(diào)整，目前法珀和拼接鏡面技術(shù)應(yīng)用越來越廣泛，電容式邊緣傳感器因其體積小、成本低、溫度穩(wěn)定性好等諸多優(yōu)點(diǎn)，在法珀和拼接鏡面技術(shù)發(fā)展中的地位不容小覷。電容式邊緣傳感器技術(shù)在國內(nèi)發(fā)展仍不成熟，提高該傳感器電路性能，減少噪聲等誤差源的影響，實(shí)現(xiàn)大行程，高精度的測(cè)量是我們下一步繼續(xù)努力的目標(biāo)。
評(píng)論