利用吉時(shí)利4200-SCS型優(yōu)化小電流測(cè)量的最佳解決方
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圖11所示為保護(hù)消除可能會(huì)通過(guò)測(cè)試夾具內(nèi)隔離絕緣體的原理。在圖11a中，漏流(IL)通過(guò)隔離絕緣體(RL)。該漏流增加至來(lái)自于DUT(IDUT)，然后被SMU安培計(jì)測(cè)得(IM)，對(duì)小電流測(cè)量的準(zhǔn)確度造成不利影響。
圖11.利用保護(hù)減小測(cè)試夾具中的漏流
在圖11b中，金屬安裝板被連接至SMU的保護(hù)端子。隔離絕緣體頂部和底部的電壓接近相同電勢(shì)(0V壓降)，所以在隔離絕緣體中就不會(huì)有漏流影響測(cè)量準(zhǔn)確度。由于金屬安裝板將處于保護(hù)電勢(shì)，所以為安全起見(jiàn)，金屬屏蔽必須連接至地。
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