應用材料公司推出平板顯示設備高分辨率整片在線電子束檢視技術

　　應用材料公司今天推出了全球第一款面向平板顯示行業(yè)的高分辨率在線電子束檢視(EBR)系統(tǒng)。該系統(tǒng)能顯著提高OLED，UHD液晶屏制造商良率改善的速度，更快地將新型平板顯示產(chǎn)品推向市場。

　　作為半導體行業(yè)EBR技術的領導廠商，應用材料公司2015年市場占有率達到70%以上。最新的EBR系統(tǒng)在一臺大型真空平臺上結合了用于半導體器件檢視的掃描電子顯微鏡(SEM)，成為業(yè)內(nèi)最快、最高效的在線EBR檢視技術，能有效發(fā)現(xiàn)，分析移動設備和電視顯示屏致命缺陷的根源。

　　全球十大顯示屏制造商，目前已有六家向應用材料公司訂購了EBR系統(tǒng)。隨著越來越多的顯示器廠商希望通過快速、經(jīng)濟的方式來提升良率，盡快將新產(chǎn)品推向市場，勢必將進一步提升該系統(tǒng)的未來需求。

　　應用材料公司高級副總裁，平板顯示及相關產(chǎn)品事業(yè)部與全球服務產(chǎn)品事業(yè)部總經(jīng)理Ali Salehpour表示：“我們擁有一系列面向平板顯示行業(yè)的新產(chǎn)品，其中最新推出的EBR系統(tǒng)能幫助客戶解決OLED，LCD制造中的關鍵挑戰(zhàn)。該系統(tǒng)完美結合了應用材料公司在半導體良率控制領域的先進工藝和面板級SEM技術，進一步擴展了我們產(chǎn)品的目標市場，幫助客戶避免因良率低下導致的高昂成本。隨著增強現(xiàn)實、虛擬現(xiàn)實及智能汽車等新應用的日漸興起，市場對于新外型、性能更出色的顯示屏的需求不斷增加，這也相應推升了先進平板顯示解決方案的需求，而我們的EBR系統(tǒng)能幫助客戶加快產(chǎn)品上市時間，因而受到市場熱烈反響。”

　　知名顯示器制造商天馬微電子集團副總裁馬駿博士表示：“作為全球顯示解決方案領導廠商，天馬十分重視與應用材料公司的良好合作關系。應用材料公司的設備幫助我們開發(fā)出生產(chǎn)高質量、高性能移動顯示屏的新技術，滿足消費者日益增長的需求。應用材料公司的EBR系統(tǒng)將縮短我們武漢工廠生產(chǎn)線的調(diào)試時間，從而更快地向市場推出更多先進的平板顯示技術。此次合作成功后，我們期待繼續(xù)與應用材料公司攜手，將更多半導體良率提高技術引入移動顯示制造過程?！?/p>

　　由于先進的平板顯示技術需要越來越多的生產(chǎn)工序，可能產(chǎn)生更多、更小的污染物，以及新類型的缺陷。在區(qū)分致命與非致命缺陷以及確認導致缺陷的系統(tǒng)性原因方面，目前傳統(tǒng)的在線自動光學缺陷檢查設備無一能與SEM分析技術相媲美。在應用材料公司推出EBR系統(tǒng)前，顯示屏的SEM分析必須破壞性地切割玻璃基板，然后在顯微鏡下對每一小片玻璃單獨進行檢視。這一過程不僅費時費力，而且?guī)缀鯚o法確定缺陷在面板上的位置。為了彌補這些不足，應用材料公司開發(fā)了在線SEM檢視工具，能實現(xiàn)業(yè)內(nèi)最高的分辨率和檢視速度，且無需破壞玻璃基板。

　　*SEM = scanning electron microscope

　　*SEM =掃描電子顯微鏡