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          “合肥造”光刻設(shè)備將打破國(guó)外壟斷

          作者: 時(shí)間:2016-11-03 來源:中安在線 收藏

            中國(guó)制造業(yè)高端裝備一直以來依賴國(guó)外進(jìn)口,尤其是高端設(shè)備受到西方封鎖,有錢也買不到,或是毫無競(jìng)價(jià)權(quán),國(guó)內(nèi)進(jìn)口集成電路裝備采購(gòu)每年達(dá)數(shù)十億美元。在高新區(qū)的合肥芯碁微電子裝備有限公司,正在通過自主創(chuàng)新,改變這種現(xiàn)況。

          本文引用地址:http://www.ex-cimer.com/article/201611/339658.htm

            據(jù)介紹,合肥芯碁微電子裝備有限公司主要經(jīng)營(yíng)微電子高端裝備研發(fā)、制造、技術(shù)服務(wù)。公司技術(shù)團(tuán)隊(duì)是以曾承接國(guó)家02重大科技專項(xiàng)《130—65nm制版設(shè)備及產(chǎn)業(yè)化》項(xiàng)目核心人員為基礎(chǔ),結(jié)合國(guó)內(nèi)外業(yè)界精英組成,60%以上碩博士。團(tuán)隊(duì)骨干均為國(guó)內(nèi)首創(chuàng)激光直寫設(shè)備、激光曝光設(shè)備的核心骨干成員。

            “有別于傳統(tǒng)的創(chuàng)新,我們是完全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán),用在集成電路制造領(lǐng)域的核心裝備,目標(biāo)是取代進(jìn)口。”合肥芯碁微電子裝備有限公司相關(guān)負(fù)責(zé)人介紹說,即將投產(chǎn)的激光直寫光刻機(jī)、雙臺(tái)面激光曝光機(jī),均為進(jìn)口替代產(chǎn)品。

            其中,該公司的MLL及LDW系列光刻設(shè)備是國(guó)內(nèi)目前唯一可以替代進(jìn)口的半導(dǎo)體光刻設(shè)備,已有38所、771所、中科大微納米中心、11所、13所、半導(dǎo)體所、華中科大等客戶購(gòu)買使用。需求逐步增長(zhǎng),現(xiàn)在每年約30臺(tái)套。LDI激光曝光機(jī)系列是國(guó)內(nèi)目前與以色列奧寶(壟斷全球75%市場(chǎng)在中國(guó)去年銷售臺(tái)220臺(tái))直接競(jìng)爭(zhēng)的產(chǎn)品。QS系列檢測(cè)設(shè)備,現(xiàn)有客戶中芯國(guó)際、13所、43所、西南所等,計(jì)劃項(xiàng)目投產(chǎn)后第二年銷售合計(jì)20臺(tái),銷售收入約3000萬元。

            此外,集成電路產(chǎn)業(yè)是國(guó)家重點(diǎn)支持和發(fā)展的戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè),高端裝備制造業(yè)更是工業(yè)4.0及中國(guó)制造2025發(fā)展重點(diǎn)趨勢(shì),芯碁微電子裝備正是為集成電路產(chǎn)業(yè)提供自主高端裝備的高科技企業(yè),是各級(jí)政府重點(diǎn)支持的新興產(chǎn)業(yè)。

            合肥芯碁微電子裝備有限公司相關(guān)負(fù)責(zé)人認(rèn)為,核心高端裝備業(yè)的進(jìn)口制約導(dǎo)致我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)和國(guó)防軍工產(chǎn)業(yè)面臨巨大的戰(zhàn)略安全威脅。芯碁微電子裝備正是以保障國(guó)家經(jīng)濟(jì)與產(chǎn)業(yè)安全為己任,志存高遠(yuǎn),力爭(zhēng)盡快成長(zhǎng)為中國(guó)微電子裝備業(yè)的領(lǐng)導(dǎo)企業(yè)。



          關(guān)鍵詞: 光刻 芯片

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