“合肥造”光刻設(shè)備將打破國外壟斷

　　中國芯片制造業(yè)高端裝備一直以來依賴國外進口，尤其是高端光刻設(shè)備受到西方封鎖，有錢也買不到，或是毫無競價權(quán)，國內(nèi)進口集成電路裝備采購每年達數(shù)十億美元。在高新區(qū)的合肥芯碁微電子裝備有限公司，正在通過自主創(chuàng)新，改變這種現(xiàn)況。

　　據(jù)介紹，合肥芯碁微電子裝備有限公司主要經(jīng)營微電子高端裝備研發(fā)、制造、技術(shù)服務(wù)。公司技術(shù)團隊是以曾承接國家02重大科技專項《130—65nm制版光刻設(shè)備及產(chǎn)業(yè)化》項目核心人員為基礎(chǔ)，結(jié)合國內(nèi)外業(yè)界精英組成，60%以上碩博士。團隊骨干均為國內(nèi)首創(chuàng)激光直寫光刻設(shè)備、激光曝光設(shè)備的核心骨干成員。

　　“有別于傳統(tǒng)的創(chuàng)新，我們是完全自主知識產(chǎn)權(quán)，用在集成電路制造領(lǐng)域的核心裝備，目標(biāo)是取代進口。”合肥芯碁微電子裝備有限公司相關(guān)負責(zé)人介紹說，即將投產(chǎn)的激光直寫光刻機、雙臺面激光曝光機，均為進口替代產(chǎn)品。

　　其中，該公司的MLL及LDW系列光刻設(shè)備是國內(nèi)目前唯一可以替代進口的半導(dǎo)體光刻設(shè)備，已有38所、771所、中科大微納米中心、11所、13所、半導(dǎo)體所、華中科大等客戶購買使用。需求逐步增長，現(xiàn)在每年約30臺套。LDI激光曝光機系列是國內(nèi)目前與以色列奧寶(壟斷全球75%市場在中國去年銷售臺220臺)直接競爭的產(chǎn)品。QS系列檢測設(shè)備，現(xiàn)有客戶中芯國際、13所、43所、西南所等，計劃項目投產(chǎn)后第二年銷售合計20臺，銷售收入約3000萬元。

　　此外，集成電路產(chǎn)業(yè)是國家重點支持和發(fā)展的戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè)，高端裝備制造業(yè)更是工業(yè)4.0及中國制造2025發(fā)展重點趨勢，芯碁微電子裝備正是為集成電路產(chǎn)業(yè)提供自主高端裝備的高科技企業(yè)，是各級政府重點支持的新興產(chǎn)業(yè)。

　　合肥芯碁微電子裝備有限公司相關(guān)負責(zé)人認為，核心高端裝備業(yè)的進口制約導(dǎo)致我國集成電路產(chǎn)業(yè)和國防軍工產(chǎn)業(yè)面臨巨大的戰(zhàn)略安全威脅。芯碁微電子裝備正是以保障國家經(jīng)濟與產(chǎn)業(yè)安全為己任，志存高遠，力爭盡快成長為中國微電子裝備業(yè)的領(lǐng)導(dǎo)企業(yè)。