應(yīng)用材料公司在線電子束檢視系統(tǒng)加速顯示產(chǎn)品開發(fā)

作者/ 金旺 電子產(chǎn)品世界編輯

　　應(yīng)用材料公司在“北京2016國際顯示高峰論壇”上展示了他們面向顯示行業(yè)的高分辨率在線電子束檢視(EBR)系統(tǒng)，該系統(tǒng)能顯著提高OLED、UHD液晶屏制造商良率提升的速度，更快地將新型平板顯示產(chǎn)品推向市場。

　　隨著半導(dǎo)體制程進(jìn)入次微米，上世紀(jì)90年代，掃描電子顯微鏡檢視解決方案(SEM)取代了光學(xué)檢視，如今半導(dǎo)體工藝制程的在線SEM檢視率為90%。目前的顯示行業(yè)， 我們?nèi)砸蕾噦鹘y(tǒng)離線SEM，而離線SEM檢視技術(shù)現(xiàn)在仍面臨以下不足：

　　1)需要鍍金屬/C60鍍膜;2)檢視過程需損壞產(chǎn)品;3)檢視周期長;4)樣本率低;5)信息流失，客戶無法得到完整信息。

　　應(yīng)用材料公司用于OLED和高分辨率LCD的電子束檢視系統(tǒng)結(jié)合大尺寸真空技術(shù)平臺和半導(dǎo)體SEM技術(shù)，克服了離線SEM檢視技術(shù)的不足，可以低電壓、無損傷、快速地完成檢視的整個流程?！坝捎陔x線SEM技術(shù)需要對樣品切割、鍍膜等步驟，這不僅損壞了器件，還會大大降低工作效率，對于一個熟練的技術(shù)員，一天最多只能檢測20個樣本，而EBR不需要切割玻璃和鍍膜，一個技術(shù)員一天可以完成上千個樣本檢測，檢測到的缺陷可以繼續(xù)后續(xù)制程的處理，觀察該缺陷是否是致命缺陷。同時，EBR系統(tǒng)可以檢測到AOI(Automatic Optic Inspection，自動光學(xué)檢測)設(shè)備無法檢測到的缺陷，進(jìn)行缺陷或顆粒成分分析，能夠更精準(zhǔn)地找到缺陷根源?！?a class="contentlabel" href="http://www.ex-cimer.com/news/listbylabel/label/應(yīng)用材料">應(yīng)用材料公司顯示產(chǎn)品事業(yè)部良率技術(shù)部總經(jīng)理Peter D. Nunan介紹稱，“對于我們來說，速度是最重要的，現(xiàn)在一個小時可以檢測一百個缺陷，未來十年內(nèi)我們將不停地加快速度，對于我們的客戶來說，EBR系統(tǒng)將會成為他們應(yīng)對新技術(shù)挑戰(zhàn)，提高產(chǎn)能和產(chǎn)品良率的利器，減少解決難題所需的時間。”

　　EBR檢視技術(shù)適用于工藝和缺陷檢測、構(gòu)成分析、LTPS顆粒結(jié)構(gòu)檢測和CD測量等。其低電壓檢測技術(shù)不會損傷產(chǎn)品，同時，EBR檢測設(shè)備快速的檢測速度將不斷加速新型顯示器工廠的產(chǎn)能爬坡。(旺)

本文來源于中國科技期刊《電子產(chǎn)品世界》2016年第11期第83頁，歡迎您寫論文時引用，并注明出處。