摻硼p+-Si外延層厚度的測(cè)試方法
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(4)用水將樣品沖洗干凈。
4測(cè)試過程
(1)將待測(cè)樣品與載片塊貼在一起放到金相顯微鏡的載物臺(tái)上，樣品斷面垂直于物鏡。圖2(a)給出了樣品斷面腐蝕前正面觀察示意圖。圖2(b)給出樣品斷面腐蝕后側(cè)面觀察示意圖。
(2)調(diào)節(jié)金相顯微鏡，直到目鏡中出現(xiàn)如圖3所示的外延層與襯底的界面。
(3)轉(zhuǎn)動(dòng)金相顯微鏡測(cè)微尺中的標(biāo)線，直到目鏡中的標(biāo)線與外延層的一邊重合，此時(shí)將顯示表讀數(shù)復(fù)位。
(4)再次轉(zhuǎn)動(dòng)金相顯微鏡測(cè)微尺中的標(biāo)線，直到目鏡中的標(biāo)線與外延層的另外一邊重合，此時(shí)顯示表上的讀數(shù)即為外延層的厚度。
5結(jié)果分析
采用上述方法本文對(duì)幾種厚度的樣品進(jìn)行了測(cè)量。結(jié)果表明，該方法具有一定的準(zhǔn)確度，表1給出了采用磨角染色法測(cè)量的外延層厚度與采用本方法測(cè)量的結(jié)果對(duì)比。
從表1可以看出，采用該方法進(jìn)行外延層厚度測(cè)量時(shí)，測(cè)量結(jié)果與采用磨角染色法測(cè)量的外延層厚度的結(jié)果比較吻合。
在樣品腐蝕過程中，由于樣品的斷面為<110>晶向，因此，襯底層斷面的腐蝕速率很快，通常在較短的時(shí)間內(nèi)即腐蝕出臺(tái)階。
6結(jié)論
與磨角染色法相比，本文所提出的p+-Si外延層厚度的測(cè)量方法簡(jiǎn)單易行，可以測(cè)量p+／p結(jié)構(gòu)的外延層厚度，且該方法具有一定的準(zhǔn)確度。該方法可以作為外延工藝的檢測(cè)手段，以加強(qiáng)對(duì)外延過程的監(jiān)控；并且該方法僅適用于高濃度摻雜的p型外延層厚度的測(cè)量，B摻雜的濃度不小于5×1019cm-3。
評(píng)論