上海微電子采購Bumotec機床 加速中國光刻機研發(fā)

　　去年，一臺價值1.06億元設(shè)備經(jīng)空運從荷蘭飛抵廈門，由于該設(shè)備價值高，而且對保存和運輸有著很高的要求——保存溫度必須保持在23攝氏度恒溫狀態(tài)下，為了避免影響設(shè)備的精度，在運輸中也對穩(wěn)定性有極高的要求。因此，機場海關(guān)以機坪查驗的方式對該貨物實行全程機邊監(jiān)管，待貨物裝入特制溫控氣墊車后移至海關(guān)的機坪視頻監(jiān)控探頭之下，在完成緊急查驗后當(dāng)晚就放行。

　　沒錯，這臺設(shè)備就是荷蘭ASML的光刻機。鐵流猜測，這臺設(shè)備很有可能是廈門當(dāng)?shù)卣c臺灣聯(lián)華電子合資的晶圓廠從荷蘭ASML采購的。不過，由于西方瓦森納協(xié)議的限制，中國只能買到ASML的中低產(chǎn)品，這一點從廈門當(dāng)?shù)仄髽I(yè)進口的光刻機報價僅1億人民幣就可以看出來了。

　　目前，光刻機領(lǐng)域的龍頭老大是荷蘭ASML，并已經(jīng)占據(jù)了高達80%的市場份額，壟斷了高端光刻機市場，日本尼康在高端光刻機上完全被ASML擊敗，即便尼康的ArF光刻機售價僅為ASML的一半也無補于事。Intel、臺積電、三星用來加工14/16nm芯片的光刻機都是買自ASML，格羅方德、聯(lián)電以及中芯國際等晶圓廠的光刻機主要也是來自ASML。

　　更關(guān)鍵的是，最先進的EUV光刻機全球僅有ASML能夠生產(chǎn)，ASML在去年第三季度和第四季度出售的兩臺EUV光刻機售價都超過1億美元，落后EUV一代的ArF光刻機平均售價也在4000萬至5000萬歐元左右，從高企的報價和EUV光刻機全球僅此一家出售可以看出，光刻機的技術(shù)門檻極高，是人類智慧集大成的產(chǎn)物。

　　相比之下，國內(nèi)光刻機廠商則顯得非常寒酸，處于技術(shù)領(lǐng)先的上海微電子裝備有限公司已量產(chǎn)的光刻機中性能最好的是能用來加工90nm芯片的光刻機，技術(shù)差距說是鴻溝都不為過，正是因此，國內(nèi)晶圓廠所需的高端光刻機完全依賴進口。

　　據(jù)消息人士披露，上海微電子訂了一批Bumotec機床。Bumotec是瑞士斯達拉格旗下的子品牌，能制造頂尖的加工光學(xué)儀器的機床，據(jù)說比ASML用的德國機床還好點——一般人耳熟能詳?shù)哪切└叨藱C床，和斯達拉格不是一個世界的，斯達拉格專攻高精尖制造領(lǐng)域的制造設(shè)備，所以知道這個公司的人非常少。但名氣小不意味著技術(shù)就不頂尖。

　　在本土機床還存在一定技術(shù)差距的情況下，通過這種方式有助于提升中國光刻機的研發(fā)進度和技術(shù)提升。誠然，在采購瑞士機床的同時，國內(nèi)也要做好國產(chǎn)化替代工作，實現(xiàn)兩條腿走路。

　　另外，關(guān)于上微和ASML合作的消息，有朋友在微信上留言，懷疑上微是不是要當(dāng)偽軍，但其實并非如此。主要是上微的一些技術(shù)和ASML的專利比較那個啥，然后ASML就打官司，但一直沒結(jié)果，中國政府也在中間協(xié)調(diào)。最后ASML搞的很煩了，索性就以合作的名義，拿一筆錢，就不打官司了。所以這個合作并不意味著上微要當(dāng)偽軍。而是繼續(xù)走自主研發(fā)之路，只不過在前行之中可能會借鑒一些前人探索出來的捷徑。