2021半導(dǎo)體材料國(guó)產(chǎn)化率達(dá)到50% 這個(gè)目標(biāo)如何實(shí)現(xiàn)？

　　“中芯國(guó)際北京廠經(jīng)過5年多的努力，幫助國(guó)內(nèi)裝備、材料及零部件企業(yè)實(shí)現(xiàn)了技術(shù)成果的產(chǎn)業(yè)化，逐步打破國(guó)外廠商的技術(shù)封鎖和壟斷。”當(dāng)中芯北方集成電路制造(北京)有限公司總經(jīng)理張昕在日前于寧波北侖舉辦的“中國(guó)半導(dǎo)體材料及零部件發(fā)展2017年會(huì)”上說出上述一番話時(shí)，與會(huì)的國(guó)內(nèi)300多名半導(dǎo)體材料及零部件供應(yīng)商代表的臉上無不流露出興奮的神情，曾經(jīng)是國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈最弱環(huán)節(jié)的國(guó)產(chǎn)材料和零部件，終于可以堂而皇之地進(jìn)入下游集成電路制造企業(yè)了。

　　國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體材料產(chǎn)業(yè)增長(zhǎng)態(tài)勢(shì)明顯

　　材料和零部件作為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的重要一環(huán)，在整個(gè)產(chǎn)業(yè)發(fā)展中發(fā)揮著重要的基礎(chǔ)性支撐作用。近年來，國(guó)家和企業(yè)不斷加大在半導(dǎo)體材料領(lǐng)域的投入，資料顯示，2015-2016年兩年累計(jì)研發(fā)投入38.3億元，是2005-2009年5年間年均投入的7.1倍;2015-2016年兩年累計(jì)產(chǎn)業(yè)發(fā)展投入41.5億元，已達(dá)到前5年總體投入的1/2。

　　集成電路材料和零部件產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟秘書長(zhǎng)石瑛介紹說，由于持續(xù)的投入及不斷創(chuàng)新，近年來，中國(guó)半導(dǎo)體制造材料產(chǎn)業(yè)保持持續(xù)增長(zhǎng)態(tài)勢(shì)。2008年之前，8~12英寸晶圓制造材料幾乎100%依賴進(jìn)口，到2016年年底，F(xiàn)AB廠單廠采購(gòu)比例超過50%的材料品種已達(dá)27種，其中包括電子氣體、CMP拋光液、靶材、光刻膠、工藝化學(xué)品及硅片。2016年，中國(guó)半導(dǎo)體材料企業(yè)銷售收入達(dá)到256億元。預(yù)計(jì)2018年后，中國(guó)將成為全球第三大市場(chǎng)。

　　“到2020年，我國(guó)半導(dǎo)體材料產(chǎn)業(yè)規(guī)模化、集聚化發(fā)展態(tài)勢(shì)將基本形成，同時(shí)也將建成較為完善的新材料標(biāo)準(zhǔn)體系，形成一批具有國(guó)際影響力的新材料公司。到2021年，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體材料市場(chǎng)規(guī)模將突破1200億元，其中300mm產(chǎn)能的材料市場(chǎng)將超過70%，小于20納米工藝的材料市場(chǎng)將超過30%。本地材料市場(chǎng)占有率將超過50%，部分材料將進(jìn)入國(guó)際材料采購(gòu)體系。”這些數(shù)據(jù)，對(duì)石瑛來說早已了然于胸。

　　加快本地供應(yīng)鏈形成上下游企業(yè)展開合作

　　材料供應(yīng)鏈的本土化，不僅有利于制造成本的控制、服務(wù)的快速及時(shí)響應(yīng)、技術(shù)的安全可控，它所形成的產(chǎn)業(yè)協(xié)同效應(yīng)好處更多。

　　石瑛介紹說，目前，我國(guó)在集成電路制造用硅材料、掩模、電子氣體、工藝化學(xué)品、光刻膠、拋光材料、靶材、封裝材料領(lǐng)域已經(jīng)有一批相關(guān)的企業(yè)，也擁有生產(chǎn)這些材料的有色金屬、有機(jī)、無機(jī)化工等礦產(chǎn)資源優(yōu)勢(shì)，關(guān)鍵基礎(chǔ)原材料的品質(zhì)提升也逐漸進(jìn)入行業(yè)視線。

　　張昕提供的數(shù)據(jù)對(duì)石瑛的介紹進(jìn)行了詮釋：“截至目前，在國(guó)產(chǎn)化設(shè)備方面，中芯國(guó)際北京廠國(guó)產(chǎn)化工藝占比15.6%;在國(guó)產(chǎn)材料領(lǐng)域，采購(gòu)比例達(dá)到11.3%;在國(guó)產(chǎn)零部件領(lǐng)域，采購(gòu)比例達(dá)到16.2%。”

　　然而，進(jìn)入集成電路制造企業(yè)供應(yīng)鏈?zhǔn)且粋€(gè)漫長(zhǎng)而系統(tǒng)的工作，即使國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體材料企業(yè)已經(jīng)有了替代產(chǎn)品，但若客戶不了解，就不會(huì)使用。因此，與會(huì)代表建議，半導(dǎo)體材料及零部件企業(yè)要在品質(zhì)、物流等管理上和客戶保持一致，還要讓上游企業(yè)的工程、技術(shù)、質(zhì)量等部門與下游客戶全方位對(duì)接，尊重客戶每個(gè)部門的意見和建議。他們希望上游供應(yīng)商和下游制造企業(yè)進(jìn)行彈性合作、戰(zhàn)略合作，下游制造企業(yè)能夠定期指導(dǎo)工作。同時(shí)，國(guó)內(nèi)材料企業(yè)也能和客戶共同開發(fā)新產(chǎn)品和新配方。

　　引導(dǎo)行業(yè)整合和國(guó)內(nèi)外并購(gòu)發(fā)展

　　通過并購(gòu)方式加快企業(yè)自身的發(fā)展速度，從而帶動(dòng)整個(gè)材料業(yè)的發(fā)展，也是近年來國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體材料產(chǎn)業(yè)呈現(xiàn)出的新特點(diǎn)。

　　石瑛給記者羅列了以下幾個(gè)成功案例：

　　2014年5月，上海新傲與法國(guó)Soitec公司結(jié)成合作伙伴關(guān)系，在中國(guó)提供一流的SOI晶圓制造能力，并面向全球?yàn)镾oitec生產(chǎn)200mmSOI晶圓片。未來雙方將繼續(xù)擴(kuò)大合作范圍，發(fā)揮協(xié)同優(yōu)勢(shì)，在中國(guó)建立SOI生態(tài)系統(tǒng)。

　　2016年8月，雅克科技收購(gòu)韓國(guó)UPChemical的100%股權(quán)，生產(chǎn)CVD/ALD前驅(qū)體;2017年10月收購(gòu)成都科美特特種氣體有限公司90%股權(quán)，主要生產(chǎn)六氟化硫和四氟化碳。

　　2017年3月，巨化集團(tuán)收購(gòu)德國(guó)漢高集團(tuán)環(huán)氧模塑料業(yè)務(wù)100%股權(quán)以及相關(guān)知識(shí)產(chǎn)權(quán)、著名商標(biāo)、研發(fā)資產(chǎn)和海內(nèi)外營(yíng)銷渠道。

　　石瑛表示，跨國(guó)兼并重組不但可以吸收國(guó)際先進(jìn)技術(shù)，擁有業(yè)內(nèi)著名品牌，更可以在很大程度上提高國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體材料企業(yè)在人才、技術(shù)、質(zhì)量、服務(wù)方面的競(jìng)爭(zhēng)力。

　　與會(huì)不少代表表示，他們希望通過集成電路材料和零部件產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新聯(lián)盟尋找合適的國(guó)際企業(yè)進(jìn)行合作，如通過技術(shù)培訓(xùn)的方式，學(xué)習(xí)國(guó)外公司先進(jìn)的生產(chǎn)技術(shù)和管理經(jīng)驗(yàn)，從而進(jìn)行產(chǎn)品更新、結(jié)構(gòu)調(diào)整、品質(zhì)提升、營(yíng)銷創(chuàng)新和售后服務(wù)的升級(jí)。

　　政策引導(dǎo)打造企業(yè)發(fā)展資本通道

　　雖然國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體材料產(chǎn)業(yè)發(fā)展近來漸入佳境，但未來的路仍充滿荊棘。本次會(huì)議，演講嘉賓說得最多的一個(gè)詞是“情懷”，默默耕耘在這個(gè)領(lǐng)域的企業(yè)家不愿放棄這個(gè)陣地，但僅靠情懷又無濟(jì)于事。

　　為此，他們呼吁，國(guó)內(nèi)材料和零部件企業(yè)應(yīng)該開展合作，優(yōu)勢(shì)互補(bǔ)，共同攻關(guān)。同時(shí)，國(guó)家也應(yīng)出臺(tái)相關(guān)政策，鼓勵(lì)下游制造企業(yè)積極使用國(guó)產(chǎn)材料和零部件，在生產(chǎn)線上配置一定比例的國(guó)產(chǎn)材料和零部件。安集微電子(上海)有限公司董事長(zhǎng)兼首席執(zhí)行官王淑敏表示，目前國(guó)家針對(duì)材料企業(yè)有一些優(yōu)惠政策，但申請(qǐng)、審批流程很繁瑣，應(yīng)該減少中間環(huán)節(jié)。也有企業(yè)代表建議成立公共的檢測(cè)平臺(tái)，政府適當(dāng)補(bǔ)貼平臺(tái)的運(yùn)行。

　　任何產(chǎn)業(yè)的發(fā)展都離不開資金的支持，技術(shù)密集型的半導(dǎo)體材料產(chǎn)業(yè)更是如此。

　　為此，集成電路材料和零部件產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟發(fā)起設(shè)立了盛芯材料產(chǎn)業(yè)投資基金，致力于成為我國(guó)集成電路材料領(lǐng)域的行業(yè)引導(dǎo)基金?；鹨黄谝延诮赵O(shè)立完成，規(guī)模為2億元，出資人包括業(yè)內(nèi)四家上市公司(浙江巨化、南大光電、上海新陽、金力泰)，以及具有集成電路業(yè)內(nèi)豐富投資經(jīng)驗(yàn)的寧波芯空間。

　　石瑛強(qiáng)調(diào)，盛芯基金將依托產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新聯(lián)盟豐富的企業(yè)資源和產(chǎn)業(yè)鏈合作優(yōu)勢(shì)，結(jié)合戰(zhàn)略合作伙伴廣泛的海外資源及02專項(xiàng)和國(guó)家相關(guān)科技計(jì)劃產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目庫(kù)資源，海內(nèi)外多渠道廣泛收集項(xiàng)目源，推動(dòng)圍繞國(guó)內(nèi)優(yōu)勢(shì)企業(yè)的產(chǎn)業(yè)整合。截至目前，基金一期投資業(yè)務(wù)已有序展開，已儲(chǔ)備十余個(gè)擬投資項(xiàng)目。