清華大學院士工作站落戶蚌埠 加強MEMS行業(yè)研究應用

　　11月10日上午，在中國MEMS(微機電系統(tǒng))傳感器暨集成電路產業(yè)發(fā)展高峰論壇上，清華大學副校長、中科院尤政院士和中國兵器工業(yè)第二一四研究所共同為清華大學院士工作站揭牌，至此，清華大學院士工作站首次正式落戶我省蚌埠中國兵器二一四研究所。

　　新安晚報、安徽網、大皖客戶端記者獲悉，此次合作的目的是加強雙方在MEMS相關領域的技術研究和應用，實現研發(fā)與產業(yè)結合，以國際上同行業(yè)先進技術為標桿，創(chuàng)新成果擁有自主知識產權，做到技術水平達國際先進、國內領先，同時培養(yǎng)高素質人才，推動行業(yè)整體技術水平提高。

　　院士工作站將開展MEMS技術研發(fā)和產業(yè)化，進行包括高精度大量程MEMS慣性器件的設計研究、低應力MEMS制造工藝及工藝一致性研究、低功耗高信噪比慣性器件配套ASIC電路設計研究、異質材料的低應力高密度集成封裝技術研究、大批量高精度MEMS器件晶圓級測試技術、基于多MEMS傳感器數據的導航定位算法研究在內的多項研究工作，并計劃在相關領域申請多項國家專利，實現MEMS技術的領先地位。

　　清華大學院士工作站的建立不僅利用專家、專業(yè)知識為中國兵器工業(yè)搭建了技術創(chuàng)新的服務平臺，提升了技術合作的質量和效率，也同時為蚌埠工業(yè)技術水平的提升做出了巨大的貢獻，更是強有力地推動了我省及國家科技發(fā)展，實現了專家、企業(yè)的共贏。