KLA-Tencor：制程控制在源頭 助力客戶實(shí)現(xiàn)更大生產(chǎn)價(jià)值

　　隨著技術(shù)的進(jìn)步發(fā)展，制程的步驟越來(lái)越多，工藝也更加復(fù)雜化。如采用多重圖形技術(shù)的制程則為達(dá)到1000多道，而工藝窗口的挑戰(zhàn)則要求幾乎是“零缺陷”，這就對(duì)工藝控制水平提出了更高的要求。制造過(guò)程中任何細(xì)小的錯(cuò)誤都將導(dǎo)致重新流片，而其代價(jià)將會(huì)很大，因此在制造過(guò)程中，檢測(cè)和量測(cè)變得越來(lái)越重要，越早發(fā)現(xiàn)問(wèn)題所在，可挽回的損失越大。全球領(lǐng)先的工藝控制及良率管理解決方案的設(shè)備供應(yīng)商KLA-Tencor其產(chǎn)品線涵蓋了半導(dǎo)體制程的各個(gè)環(huán)節(jié)和技術(shù)節(jié)點(diǎn)，包括晶圓表面缺陷、光罩、薄膜等，也同時(shí)提供數(shù)據(jù)的分析和儲(chǔ)存。在其它領(lǐng)域，如高亮度LED、MEMS、功率器件等，KLA-Tencor也為客戶提供了大量的先進(jìn)技術(shù)和機(jī)臺(tái)。 KLA-Tencor客戶互動(dòng)副總Mark Shirey表示 “更先進(jìn)的技術(shù)節(jié)點(diǎn)意味著更大的研發(fā)投入，而隨著成本的增加良率的提升就顯得尤為重要，良率與成本需要達(dá)到平衡。同時(shí)要盡量縮短從研發(fā)到上線，再到最終產(chǎn)品的周期。 KLA-Tencor一直致力于幫助客戶加快產(chǎn)品開(kāi)發(fā)周期，從而降低成本。KLA-Tencor也與客戶通過(guò)緊密合作，當(dāng)客戶在生產(chǎn)和研發(fā)過(guò)程中遇到新的挑戰(zhàn)時(shí)，KLA-Tencor的工程師都會(huì)在第一時(shí)間了解到客戶的需求，并借助自身強(qiáng)大的技術(shù)能力幫助客戶解決難題，最終實(shí)現(xiàn)和客戶共同進(jìn)步”

　　對(duì)于先進(jìn)制程，如7nm和5nm等設(shè)計(jì)節(jié)點(diǎn)，芯片制造商想要找到產(chǎn)品上的疊對(duì)誤差、線寬尺寸不均勻和易失效點(diǎn)(Hotspots)的明確起因?qū)⒆兊迷絹?lái)越困難。KLA-Tencor最近就推出了5款圖案成型控制系統(tǒng)，主要針對(duì)7nm以下的邏輯和尖端內(nèi)存設(shè)計(jì)節(jié)點(diǎn)設(shè)計(jì)，以幫助芯片制造商實(shí)現(xiàn)多重曝光技術(shù)和EUV光刻所需的嚴(yán)格工藝寬容度。這五款產(chǎn)品分別為ATL疊對(duì)良測(cè)系統(tǒng)和SpectraFilm? F1薄膜量測(cè)系統(tǒng)，他們可以針對(duì)FinFET、DRAM、3D NAND和其他復(fù)雜器件結(jié)構(gòu)的制造提供工藝表征分析和偏移監(jiān)控。Teron? 640e光罩檢測(cè)產(chǎn)品系列和LMS IPRO7光罩疊對(duì)位準(zhǔn)量測(cè)系統(tǒng)可以協(xié)助掩模廠開(kāi)發(fā)和認(rèn)證EUV和先進(jìn)的光學(xué)光罩。5D Analyzer? X1先進(jìn)數(shù)據(jù)分析系統(tǒng)提供開(kāi)放架構(gòu)的基礎(chǔ)，以支持晶圓廠量身定制分析和實(shí)時(shí)工藝控制的應(yīng)用。Mark Shirey表示：“這五款系統(tǒng)將為我們的客戶提供KLA-Tencor最尖端的技術(shù)，幫助他們降低由每個(gè)晶圓、光罩和工藝步驟所導(dǎo)致的圖案成型誤差，從制程的源頭進(jìn)行控制，及早發(fā)現(xiàn)錯(cuò)誤，避免造成更大的損失?！?/p>

　　KLA-Tencor的產(chǎn)品線涵蓋了半導(dǎo)體制程的各個(gè)環(huán)節(jié)和技術(shù)節(jié)點(diǎn)

　　此外，隨著近幾年中國(guó)政府對(duì)發(fā)展半導(dǎo)體行業(yè)的大力投資，中國(guó)的半導(dǎo)體行業(yè)呈現(xiàn)欣欣向榮的局面。很多國(guó)際廠商也逐漸意識(shí)到中國(guó)市場(chǎng)的重要性，紛紛投資中國(guó)市場(chǎng)。KLA-Tencor也不外如是，也不斷加大在中國(guó)的投資。目前，KLA-Tencor在中國(guó)已經(jīng)設(shè)立了10處辦公室，近期又?jǐn)U展了其位于北京的辦公室，希望能快速、及時(shí)地支持本地客戶的需求 。而且，KLA-Tencor近期還上線了其中文網(wǎng)站(www.kla-tencor.cn),該網(wǎng)站將同步KLA-Tencor的美國(guó)網(wǎng)站，定期更新各類最新的功能以及技術(shù)信息，以更好服務(wù)中國(guó)的客戶。KLA-Tencor 中國(guó)區(qū)總裁張智安表示“隨著中國(guó)半導(dǎo)體市場(chǎng)的加速發(fā)展，它的地位也變得舉足輕重，將來(lái)會(huì)是兵家必爭(zhēng)之地。中國(guó)有很多對(duì)于我們很重要的客戶， 我們希望能與他們保持密切的合作關(guān)系，為他們提供所需的技術(shù)支持和服務(wù)。今后，我們會(huì)持續(xù)投入中國(guó)市場(chǎng)。全力支持中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展。我們相信未來(lái)的中國(guó)市場(chǎng)會(huì)有很好的發(fā)展前景，中國(guó)的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)正在向好的方向發(fā)展”

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