華虹12寸晶圓廠(chǎng)裝備大陸最先進(jìn)沉浸式光刻機(jī)：邁向14nm

　　中芯國(guó)際花了1.2億美元從荷蘭ASML(阿斯麥)買(mǎi)來(lái)一臺(tái)EUV極紫外光刻機(jī)，未來(lái)可用于生產(chǎn)7nm工藝芯片，長(zhǎng)江存儲(chǔ)也迎來(lái)了自己的第一臺(tái)光刻機(jī)，同樣來(lái)自ASML，不過(guò)是193nm沉浸式，用于產(chǎn)20-14nm工藝的3D NAND閃存晶圓，7200萬(wàn)美元一臺(tái)。

　　據(jù)集微網(wǎng)報(bào)道， 5月21日上午，在上海浦東新區(qū)康橋工業(yè)園南區(qū)，華虹集團(tuán)旗下上海華力集成電路制造有限公司建設(shè)和營(yíng)運(yùn)的12英寸先進(jìn)生產(chǎn)線(xiàn)建設(shè)項(xiàng)目(“華虹六廠(chǎng)”)實(shí)現(xiàn)首臺(tái)工藝設(shè)備光刻機(jī)搬入。

　　這臺(tái)光刻機(jī)的型號(hào)是NXT 1980Di，依然是荷蘭ASML提供，后者官方顯示，這是一臺(tái)193nm雙級(jí)沉浸式光刻機(jī)，用于10nm級(jí)(14～20nm)晶圓生產(chǎn)，它也是大陸裝備的最先進(jìn)的沉浸式光刻設(shè)備。

　　華力微電子官網(wǎng)資料顯示，華虹六廠(chǎng)是該司的第二個(gè)12英寸晶圓生產(chǎn)線(xiàn)，設(shè)計(jì)月產(chǎn)能4萬(wàn)片，工藝技術(shù)從28nm起步，最終將具備14nm三圍工藝的高性能芯片生產(chǎn)能力。

　　另外，根據(jù)賽迪顧問(wèn)的統(tǒng)計(jì)，按照銷(xiāo)售額，上海華虹位列2017年國(guó)內(nèi)十大集成電路制造企業(yè)第五位。