為物聯(lián)網(wǎng)行業(yè)發(fā)展做出突出貢獻(xiàn)，Entegris用了哪些方法？

當(dāng)前，我們正在經(jīng)歷第四次工業(yè)革命的歷史進(jìn)程，在這里催生了很多新技術(shù)和新市場(chǎng)，比如物聯(lián)網(wǎng)、人工智能、新能源、3D打印、納米技術(shù)等等。這么多新的技術(shù)和產(chǎn)品相互激勵(lì)、互相融合，共同推動(dòng)半導(dǎo)體行業(yè)不斷發(fā)展，從而改變?nèi)祟惖纳罘绞健?/p>本文引用地址：http://www.ex-cimer.com/article/201904/399083.htm

在半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展當(dāng)中，除了有新技術(shù)作為推動(dòng)因素，先進(jìn)材料也是十分重要的。作為特殊化學(xué)品和先進(jìn)材料解決方案的領(lǐng)導(dǎo)企業(yè)Entegris，在先進(jìn)材料方面擁有十足的話語(yǔ)權(quán)。Entegris副首席技術(shù)官M(fèi)ontray C. Leavy 博士向本站記者分享了他們對(duì)于行業(yè)發(fā)展的新想法。

Entegris副首席技術(shù)官M(fèi)ontray C. Leavy 博士

Entegris成立于1966年，總部位于美國(guó)馬薩諸塞州Billerica，在整個(gè)全球大概有4千名員工，目前已擁有近3千個(gè)專利。公司有80%-90%的業(yè)務(wù)在半導(dǎo)體行業(yè)，其次是在生命科技領(lǐng)域。Entegris的主要產(chǎn)品以及解決方案包括了污染控制、先進(jìn)材料的處理，以及先進(jìn)材料的生產(chǎn)。

在當(dāng)前的半導(dǎo)體市場(chǎng)中，物聯(lián)網(wǎng)的發(fā)展帶來(lái)數(shù)以億計(jì)的新產(chǎn)品，數(shù)字化、智能化也催生了很多產(chǎn)品和解決方案，這些都帶動(dòng)了芯片產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。

有發(fā)展就會(huì)有挑戰(zhàn)，對(duì)于芯片產(chǎn)業(yè)的挑戰(zhàn)，Leavy博士總結(jié)了幾點(diǎn)：“第一個(gè)挑戰(zhàn)，是對(duì)于產(chǎn)量以及成本的挑戰(zhàn)。因?yàn)?a class="contentlabel" href="http://www.ex-cimer.com/news/listbylabel/label/物聯(lián)網(wǎng)">物聯(lián)網(wǎng)會(huì)催生爆炸性的數(shù)據(jù)增長(zhǎng)，我們的整個(gè)行業(yè)需要滿足客戶在產(chǎn)量增長(zhǎng)方面的需求，也要滿足他們對(duì)復(fù)雜芯片的需求。第二個(gè)挑戰(zhàn)，是關(guān)于性能以及復(fù)雜性的。因?yàn)樾酒脑O(shè)計(jì)以及制造變得越來(lái)越復(fù)雜，芯片在今后是整個(gè)的3D結(jié)構(gòu)，也就需要更新、更機(jī)器化的材料，所以就會(huì)增加整個(gè)流程的步驟，也增加了對(duì)于純凈度的一個(gè)要求。第三個(gè)挑戰(zhàn)，是關(guān)于良率以及可靠性的。良率以及可靠性，對(duì)于產(chǎn)品都是非常關(guān)鍵的。所有這些都對(duì)材料，以及純凈度提出了更高的要求?！?/p>

這樣的挑戰(zhàn)，對(duì)于Entegris來(lái)說(shuō)也是機(jī)遇。Entegris有自己的創(chuàng)新技術(shù)和解決方案，能夠持續(xù)幫助客戶，并且對(duì)整個(gè)行業(yè)的發(fā)展做出努力。

對(duì)于提升芯片的產(chǎn)量、性能和良率，Entegris主要從四個(gè)方面入手，分別為材料科學(xué)分析、微污染控制、先進(jìn)材料和卓越制造。

在材料科學(xué)以及分析方面，Entegris主要關(guān)注于這幾個(gè)方面：分離科學(xué)，表面科學(xué)以及污染分析源。在“微污染控制”方面，有非常先進(jìn)的氣體、液體過(guò)濾以及提升純凈度的解決方案。另外還有特別針對(duì)先進(jìn)晶圓制造的空氣分子污染控制（AMC）解決方案。關(guān)于先進(jìn)材料的解決方案，包括了合成材料，包括一些高精度的氣體混合物、特種的覆膜，還有一些表面的準(zhǔn)備材料、凈化材料，以及液體、氣體的儲(chǔ)存和運(yùn)輸。最后，在“卓越制造”這些方面Entegris提供了非常先進(jìn)的質(zhì)量控制，并且達(dá)到了全球制造的生產(chǎn)覆蓋程度。這幾個(gè)方面，Entegris能夠?yàn)樾酒a(chǎn)業(yè)提供先進(jìn)的技術(shù)和科學(xué)支持。

Leavy博士還特別提到了關(guān)于液體、氣體運(yùn)輸?shù)膯?wèn)題。玻璃瓶一直是半導(dǎo)體器件制造過(guò)程中用于存儲(chǔ)、運(yùn)輸和配送化學(xué)品的標(biāo)準(zhǔn)容器。但隨著器件尺寸越來(lái)越小，玻璃瓶成為了導(dǎo)致元器件缺陷的新根源。除此之外，隨著晶圓廠的規(guī)模擴(kuò)大和自動(dòng)化程度提高，人們對(duì)安全性日益關(guān)注，這促使業(yè)界開(kāi)發(fā)玻璃容器的替代品。對(duì)此，Entegris研發(fā)了以聚乙烯內(nèi)襯為基礎(chǔ)的瓶系統(tǒng)來(lái)替代用于潔凈化學(xué)品交付的玻璃容器，這種瓶系統(tǒng)采用 PTFE/ PFA 內(nèi)襯，完全密封設(shè)計(jì)，減少了通過(guò)溢出或蒸發(fā)產(chǎn)生的化學(xué)品廢物，并且其重量更輕、強(qiáng)度更高且不易破碎，相比玻璃瓶也更為安全，運(yùn)輸成本更低。

物聯(lián)網(wǎng)是物與物之間的互聯(lián)互通，進(jìn)而催生了數(shù)據(jù)的爆炸式增長(zhǎng)。預(yù)計(jì)到2025年，全球處理器市場(chǎng)預(yù)計(jì)將增長(zhǎng)約350%，大量的數(shù)據(jù)需要被收集、被存儲(chǔ)，等待被處理，此時(shí)就需要3D NAND這樣的新產(chǎn)品。

3D NAND是一種新興的閃存類型，通過(guò)堆疊存儲(chǔ)單元來(lái)更加存儲(chǔ)量。不斷疊加的層數(shù)對(duì)工藝和材料要求嚴(yán)苛。因此，特殊化學(xué)品對(duì)于3D NAND來(lái)說(shuō)十分重要，例如，如何隔離 3D NAND堆疊的不同電介質(zhì)，將對(duì) 3D NAND 金屬前體提出新的需求。同時(shí)，隨著它的縱橫比越來(lái)越高，需要去清潔很多的堆疊層。Entegris研發(fā)了一款名為高選擇性氮化硅蝕刻(High Selective Nitride Etch)的產(chǎn)品，去實(shí)現(xiàn)這樣的功能。這是一款專門(mén)為3D NAND而研發(fā)的產(chǎn)品。如果沒(méi)有這個(gè)產(chǎn)品，96層的3D NAND 就做不出來(lái)。

在未來(lái)，96層的3D NAND將會(huì)達(dá)到128、256層，層數(shù)越高對(duì)于制造工藝的要求也就越高，就更加需要像Entegris這樣的公司提供更為創(chuàng)新、更有價(jià)值的產(chǎn)品和解決方案。

Entegris對(duì)于中國(guó)市場(chǎng)十分重視，尤其是中國(guó)已經(jīng)走在物聯(lián)網(wǎng)領(lǐng)域的前端，需要更多的、更有創(chuàng)新意義的技術(shù)解決方案。據(jù)了解，Entegris在中國(guó)的業(yè)務(wù)發(fā)展已經(jīng)超過(guò)25年的時(shí)間，在中國(guó)設(shè)有5個(gè)辦事處，并與國(guó)內(nèi)一些先進(jìn)的生產(chǎn)制造商及行業(yè)領(lǐng)先者建立了合作伙伴關(guān)系。例如，與福建博純材料有限公司及湖北晶星科技股份有限公司簽署合作協(xié)議，生產(chǎn)特種氣體產(chǎn)品及高純度沉積產(chǎn)品。

2018年，Entegris投入2500萬(wàn)人民幣在上海建立了中國(guó)技術(shù)中心，用于推動(dòng)公司對(duì)于應(yīng)用支持方面進(jìn)行測(cè)試。同時(shí)能夠?qū)τ趯I(yè)的解決方案進(jìn)行測(cè)試，幫助客戶發(fā)現(xiàn)問(wèn)題、解決問(wèn)題，并且和客戶共同進(jìn)行相關(guān)的應(yīng)用開(kāi)發(fā)。這是Entegris建立全球基建的其中一部分。

Leavy博士表示：“我們也希望能夠用當(dāng)?shù)氐恼Z(yǔ)言和我們的客戶進(jìn)行直接的溝通，這樣能夠取得實(shí)時(shí)的反饋。同時(shí)，也能夠?qū)⑾嚓P(guān)的信息和我們美國(guó)的技術(shù)團(tuán)隊(duì)進(jìn)行溝通，同時(shí)也避免了一些在語(yǔ)言不通的情況下造成一些信息的錯(cuò)誤，以及信息的延遲。通過(guò)這樣的一個(gè)全球基建，以及本地化的客戶支持，能夠幫助我們持續(xù)的保持一流的、先進(jìn)的產(chǎn)品以及解決方案的輸出。”