北京加快突破光刻機“卡脖子”難題

我國正加速實現(xiàn)中高端光刻機的國產(chǎn)化。近日，亦莊企業(yè)北京國望光學科技有限公司增資項目在北京產(chǎn)權(quán)交易所完成。通過此次增資，國望光學引入中國科學院長春光學精密機械與物理研究所和中國科學院上海光學精密機械研究所作為戰(zhàn)略投資者，兩家機構(gòu)以無形資產(chǎn)作價10億元入股，對應持股比例為33.33%。這意味著北京在推動國產(chǎn)光刻機核心部件生產(chǎn)方面邁出實質(zhì)性步伐，將加快突破國產(chǎn)中高端光刻機制造“卡脖子”技術(shù)難題。

光刻機作為集成電路制造中最關鍵的設備，對芯片制作工藝有著決定性的影響，被譽為“超精密制造技術(shù)皇冠上的明珠”，制造和維護均需要高度的光學和電子工業(yè)基礎。光刻機工作原理跟照相機類似，不過它的底片是涂滿光刻膠的硅片，各種電路圖案經(jīng)激光縮微投影曝光到光刻膠上，光刻膠的曝光部分與硅片進行反應，將其永久刻在硅片上，這就是芯片生產(chǎn)最重要的步驟。由于制造光刻機具有極高的技術(shù)和資金門檻，目前全球光刻機市場基本被荷蘭的阿斯麥、日本的尼康和佳能三家企業(yè)壟斷。

國望光學2018年6月落戶北京經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)，是北京亦莊國際投資發(fā)展有限公司的全資子公司，注冊資本20億元，主營業(yè)務為光刻機核心部件生產(chǎn)。

“國產(chǎn)光刻機制作工藝和全球頂尖工藝還有一定差距，國望光學的成立就是要推動國產(chǎn)中高端光刻機整機研發(fā)和量產(chǎn)?！币嗲f國投相關負責人說，此次通過北交所增資就是要尋找技術(shù)實力一流的戰(zhàn)略投資方。