盛美半導(dǎo)體設(shè)備臨港研發(fā)與制造中心項(xiàng)目啟動

日前， 全球領(lǐng)先的晶圓濕法清洗設(shè)備供應(yīng)商盛美半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司宣布，盛美半導(dǎo)體上海臨港研發(fā)及生產(chǎn)中心項(xiàng)目正式啟動。

上海市經(jīng)信委阮力副主任，上海市科委干頻副主任，上海自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)臨港新片區(qū)管委會吳曉華專職副主任，上海臨港產(chǎn)業(yè)區(qū)經(jīng)濟(jì)發(fā)展有限公司劉銘總經(jīng)理，盛美半導(dǎo)體王暉董事長等共同見證項(xiàng)目啟動。

放眼全球，集成電路裝備制造產(chǎn)業(yè)幾乎都在科技和金融要素最活躍、經(jīng)濟(jì)最發(fā)達(dá)和最開放的地區(qū)發(fā)展，臨港新片區(qū)的設(shè)計(jì)定位也非常適合集成電路裝備產(chǎn)業(yè)，為盛美半導(dǎo)體設(shè)備公司發(fā)展提供了良好的發(fā)展機(jī)遇。為此，公司選擇來臨港發(fā)展，在臨港新片區(qū)成立了全資子公司盛帷半導(dǎo)體設(shè)備（上海）有限公司，將盛帷建設(shè)成盛美全球主要研發(fā)及生產(chǎn)基地。作為盛美全球化發(fā)展的重要環(huán)節(jié)，臨港項(xiàng)目已被納入盛美全球化發(fā)展的整體布局中。

盛美半導(dǎo)體董事長王暉表示，“臨港新片區(qū)優(yōu)良的營商環(huán)境，給予我們“家”的感覺；新片區(qū)“臨港速度”的快捷服務(wù)，也增添我們項(xiàng)目建設(shè)的決心和信心。在此，僅代表盛美公司對臨港新片區(qū)管委會和產(chǎn)業(yè)公司、以及支持幫助盛美的同仁表示誠摯的感謝！盛美臨港項(xiàng)目是盛美集團(tuán)全球化發(fā)展戰(zhàn)略的重要環(huán)節(jié)，項(xiàng)目的啟動是公司建成綜合性集成電路裝備集團(tuán)，力爭躋身國際集成電路裝備企業(yè)第一梯隊(duì)的一個重要的、可喜的新臺階。公司將以此為新的起點(diǎn)，圍繞自身技術(shù)與管理水平優(yōu)勢，加大研發(fā)投入力度、不斷開拓市場，在臨港研發(fā)和生產(chǎn)全方位發(fā)展，不遺余力地為全球和中國集成電路產(chǎn)業(yè)提供更為優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品和服務(wù)?！?/p>

盛美公司1998年在美國硅谷成立。2005年，在上海市的引進(jìn)和支持下在張江成立了盛美上海公司。在全球化的背景下，盛美于2017年11月正式登陸美國納斯達(dá)克，是首家赴美上市的中國半導(dǎo)體設(shè)備公司。2018年，公司在集成電路裝備領(lǐng)域銷售5.2億元，實(shí)現(xiàn)100%的年增長，2019年預(yù)計(jì)銷售超過7億元，實(shí)現(xiàn)近40%增長。

過去十多年來，盛美堅(jiān)持差異化創(chuàng)新競爭戰(zhàn)略，建立了強(qiáng)大的知識產(chǎn)權(quán)體系，致力于為集成電路制造業(yè)提供先進(jìn)的晶圓清洗和濕法加工設(shè)備，形成了以清洗機(jī)、電鍍機(jī)和先進(jìn)封裝濕法設(shè)備為主的產(chǎn)品線。其中，盛美自主研發(fā)的清洗機(jī)SAPS與TEBO首次解決了兆聲波清洗技術(shù)在單片晶圓清洗設(shè)備上應(yīng)用的兩大世界性難題。SAPS解決兆聲波在硅片表面的均勻性難題；TEBO解決兆聲波在圖形硅片上的破壞難題，使得客戶端芯片成品率比國外同類產(chǎn)品提高了數(shù)個百分點(diǎn)。目前，公司已在全球進(jìn)行了相關(guān)專利布局，產(chǎn)品成功進(jìn)入國際、國內(nèi)先進(jìn)生產(chǎn)線。

2019年，盛美與國內(nèi)廠家密切合作，在國際上首次推出共同研發(fā)的單片槽式組合清洗機(jī)Tahoe設(shè)備，并獲得主流晶圓廠初步驗(yàn)證，有望在未來幾年解決困擾集成電路制造多年的硫酸用量大和處理難的全球半導(dǎo)體芯片產(chǎn)業(yè)性難題；盛美首臺前道銅互連電鍍機(jī)也于今年成功進(jìn)入前道大馬士革工藝客戶端，先進(jìn)封裝電鍍機(jī)也已銷售多臺到國內(nèi)最大的先進(jìn)封裝客戶。

未來，盛美將加快產(chǎn)品迭代速度，研發(fā)更先進(jìn)制程的產(chǎn)品。一方面，在臨港投入本土研發(fā)資源，并整合國際優(yōu)秀團(tuán)隊(duì)，研發(fā)更多新產(chǎn)品；另一方面，建設(shè)先進(jìn)的制造基地，無論是研發(fā)還是制造，公司都將朝著建設(shè)綜合性集成電路裝備集團(tuán)的方向努力。