Picarro宣布用于半導體晶圓廠的氣體分子污染監(jiān)測系統(tǒng)
加入技術交流群
Picarro宣布推出經我們完全優(yōu)化的AMC監(jiān)控系統(tǒng)——Picarro SAM(取樣Sample、分析Analyze和監(jiān)測Monitor)。該系統(tǒng)由Picarro在業(yè)界領先的基于CRDS的傳感器組成,該傳感器已集成到最新的采樣系統(tǒng)中。SAM單元可提供高通量采樣,而不會影響傳感器的性能。
新的Picarro SAM系統(tǒng)是從組件產品到系統(tǒng)解決方案的重大轉變。一站式的設計、制造和測試系統(tǒng)的好處包括:
?針對Picarro硬件和軟件設計且完全集成的系統(tǒng)——無集成兼容性問題
?Picarro SAM系統(tǒng)進行過精心優(yōu)化——系統(tǒng)性能符合Picarro Semi系統(tǒng)規(guī)格
新發(fā)明的、正在申請專利的氣體輸送歧管促成了SAM的顯著性能優(yōu)勢,使其在很短的時間內達到萬億分之幾(ppt)的檢測靈敏度,并能快速將SAM系統(tǒng)恢復到基線靈敏度水平。這使得SAM成為在線實時AMC監(jiān)視系統(tǒng)的理想選擇。該系統(tǒng)帶有易于使用的圖形用戶界面,可進行各種圖表和趨勢分析。
SAM可以配置為從8個或16個端口采樣,并且目前可用于檢測氨、氟化氫和鹽酸,這三個關鍵AMC會影響半導體晶圓的產量。展望未來,我們將根據Picarro的半導體產品路線圖為其它氣體提供SAM系統(tǒng)。
SAM系統(tǒng)路線圖還將支持復雜的AMC分析,以幫助客戶更準確地快速識別AMC事件的位置,從而允許采取更快的糾正措施,以提高與AMC相關的晶圓產量。
評論