打破日美壟斷 國(guó)產(chǎn)ArF光刻膠取得重大突破：可用于7nm工藝

作為半導(dǎo)體卡脖子的技術(shù)之一,很多人只知道光刻機(jī),卻不知道光刻膠的重要性,這個(gè)市場(chǎng)也是被日本及美國(guó)公司壟斷,TOP5廠商占了全球85%的份額。

國(guó)產(chǎn)光刻膠此前只能用于低端工藝生產(chǎn)線中,能做到G 線(436nm)、I 線 (365nm)水平,目前主要在用的ArF光刻膠還是靠進(jìn)口,EUV光刻膠目前還沒(méi)有公司能生產(chǎn),基本上都控制在日本公司手中。

不過(guò)EUV光刻膠也不是急需的,因?yàn)閲?guó)內(nèi)目前還沒(méi)有EUV工藝量產(chǎn),193nm的ArF光刻膠更加重要,目前國(guó)內(nèi)有多家公司正在攻關(guān)中,這種光刻膠可以用于28nm到7nm工藝的先進(jìn)工藝。

今天,南大光電在互動(dòng)平臺(tái)表示,公司的ArF光刻膠正在按計(jì)劃進(jìn)行客戶測(cè)試,這意味著國(guó)內(nèi)的ArF光刻膠技術(shù)取得了重要突破,從研發(fā)開(kāi)始走向生產(chǎn)。

根據(jù)南大光電公司之前的 消息,公司于2017年開(kāi)始研發(fā)“193nm 光刻膠項(xiàng)目”,已獲得國(guó)家“02 專項(xiàng)”的相關(guān)項(xiàng)目立項(xiàng),公司計(jì)劃通過(guò)3年的建設(shè)、投產(chǎn)及實(shí)現(xiàn)銷售,達(dá)到年產(chǎn)25噸 193nm(ArF干式和浸沒(méi)式)光刻膠產(chǎn)品的生產(chǎn)規(guī)模,產(chǎn)品將滿足集成電路行業(yè)需求標(biāo)準(zhǔn)。