韓國SK Materials量產高純度氟化氫，加速半導體材料國產化

韓國SK集團17日表示，半導體材料生產企業(yè)SK Materials近期開始量產超高純度（純度99.999%)氟化氫氣體。

據韓國國際廣播電臺報道，去年日本對韓國采取出口限制措施后，韓國企業(yè)開始自主生產半導體材料并快速取得成果。

韓國SK集團17日表示，半導體材料生產企業(yè)SK Materials近期開始量產超高純度（純度99.999%)氟化氫氣體。超高純度氟化氫氣體是日本限制向韓國出口的項目之一，在半導體制造環(huán)節(jié)中用于清洗，海外依存度曾達100%。氟化氫被用于晶圓的清洗等方面。在高純度的氟化氫市場，日本廠商大約占據8至9成份額。

SK Materials已在韓國東部的榮州市的工廠啟動量產。該公司表示，實現量產的氟化氫氣體達到被稱為“5個9”的純度，即99.999%，不過品質仍低于日本廠商產品。

SK Materials還透露，從去年底成功開發(fā)出試制品后，在韓國慶尚北道榮州工廠建設規(guī)模達15噸的生產設施。且三星電子和SK海力士將采用公司產品。

SK Materials計劃截至2023年將國產比例提高到70%。

此外，SK Materials近期還著手開發(fā)高附加值產品“硬掩膜 (SOC)”和ArF光刻膠(ArF PR)，并計劃明年投資400億韓元建設生產設施，從2022年開始每年生產5萬加侖光刻膠。

SK Materials是一家生產銷售半導體， 顯示器， 太陽能電池等領域的核心材料， 并提供相關配套服務， 從而致力于物聯網， 大數據， 無人駕駛等未來信息技術 (IT) 產業(yè)的發(fā)展。