韓國SK Materials量產(chǎn)高純度氟化氫，加速半導體材料國產(chǎn)化

韓國SK集團17日表示，半導體材料生產(chǎn)企業(yè)SK Materials近期開始量產(chǎn)超高純度（純度99.999%)氟化氫氣體。

據(jù)韓國國際廣播電臺報道，去年日本對韓國采取出口限制措施后，韓國企業(yè)開始自主生產(chǎn)半導體材料并快速取得成果。

韓國SK集團17日表示，半導體材料生產(chǎn)企業(yè)SK Materials近期開始量產(chǎn)超高純度（純度99.999%)氟化氫氣體。超高純度氟化氫氣體是日本限制向韓國出口的項目之一，在半導體制造環(huán)節(jié)中用于清洗，海外依存度曾達100%。氟化氫被用于晶圓的清洗等方面。在高純度的氟化氫市場，日本廠商大約占據(jù)8至9成份額。

SK Materials已在韓國東部的榮州市的工廠啟動量產(chǎn)。該公司表示，實現(xiàn)量產(chǎn)的氟化氫氣體達到被稱為“5個9”的純度，即99.999%，不過品質(zhì)仍低于日本廠商產(chǎn)品。

SK Materials還透露，從去年底成功開發(fā)出試制品后，在韓國慶尚北道榮州工廠建設(shè)規(guī)模達15噸的生產(chǎn)設(shè)施。且三星電子和SK海力士將采用公司產(chǎn)品。

SK Materials計劃截至2023年將國產(chǎn)比例提高到70%。

此外，SK Materials近期還著手開發(fā)高附加值產(chǎn)品“硬掩膜 (SOC)”和ArF光刻膠(ArF PR)，并計劃明年投資400億韓元建設(shè)生產(chǎn)設(shè)施，從2022年開始每年生產(chǎn)5萬加侖光刻膠。

SK Materials是一家生產(chǎn)銷售半導體， 顯示器， 太陽能電池等領(lǐng)域的核心材料， 并提供相關(guān)配套服務(wù)， 從而致力于物聯(lián)網(wǎng)， 大數(shù)據(jù)， 無人駕駛等未來信息技術(shù) (IT) 產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。