臺積電采購30臺EUV光刻機沖刺7/5nm，ASML就近設(shè)立培訓(xùn)中心

臺積電在高端制程技術(shù)上沖鋒陷陣，已經(jīng)成為光刻機龍頭 ASML 在 EUV 機臺上的最大采購客戶，累計已經(jīng)購買了 30 臺 EUV 設(shè)備。日前，ASML 繼在韓國成立 EUV 技術(shù)培訓(xùn)中心后，也在臺積電先進(jìn)制程的重鎮(zhèn)臺灣臺南，成立 EUV 技術(shù)培訓(xùn)中心。

一臺EUV系統(tǒng)需要50個工程師操作

一臺造價逾一億歐元的精密 EUV 系統(tǒng)，重量高達(dá) 180 公噸，每次運輸要用三架貨機才能運完，里面包含 10 萬個零件、4 萬個螺絲、3000 條電線、2 公里長的軟管。

再者，一臺高度精密的 EUV 設(shè)備，大概需要 50 個工程師來進(jìn)行操作。因此，EUV 工程師的技術(shù)培訓(xùn)對 ASML 而言非常重要。

ASML 指出，將一個新手工程師培育成為技術(shù)熟稔、可獨自作業(yè)的 EUV 工程師，需要經(jīng)過 18 個月的訓(xùn)練。

過去，全球的 EUV 工程師，即使只負(fù)責(zé)部分專業(yè)技術(shù)，都必須前往 ASML 荷蘭總部接受長達(dá)數(shù)月的培訓(xùn)。

ASML 表示，自從新冠疫情之后，全球企業(yè)的差旅活動有非常多的限制，因此，臺南的 EUV 全球技術(shù)培訓(xùn)中心也為新進(jìn)工程師提供 EUV 基礎(chǔ)訓(xùn)練課程，提供半導(dǎo)體客戶一個相對安全且經(jīng)濟的培訓(xùn)方式。

臺積電十年前投入 EUV 研發(fā)

臺積電是 ASML 全球重要的策略伙伴，ASML 是在 1988 年交付給臺積電第一臺光刻機，并于 2003 年在新竹成立臺灣總部辦公室。

2010 年，ASML 提供第一臺 EUV 光刻機原型機給臺積電進(jìn)行研發(fā)工作，這是全球光刻技術(shù)非常重要的一年；2017 年，ASML 更交付第一臺量產(chǎn)型 EUV 光刻機 TWINSCAN NXE : 3400，寫下商用 EUV 制程技術(shù)的新里程。

臺積電已經(jīng)采購 30 臺 EUV 光刻機，沖刺 7nm 和 5nm 制程技術(shù)的量產(chǎn); 未來針對 3nm 技術(shù)的光刻機也將更先進(jìn)。

目前最新的 EUV 光刻機NXE:3400C 每小時可處理吞吐的晶圓 WPH（Wafer Per Hour）已將到 170 片，主要用于 7nm 和 5nm 制程; 相較于 NXE:3400B 每小時處理晶圓片數(shù) 125 片更為提升。

目前，ASML 在臺灣的員工約 2,800 人。除了隨著客戶晶圓廠據(jù)點設(shè)立辦公室之外，也有林口廠是負(fù)責(zé)機臺翻修、光罩傳輸 (Reticle Handler) 模塊生產(chǎn)與 YieldStar 光學(xué)量測設(shè)備生產(chǎn); 另外的臺南廠則專注于電子束 (ebeam ) 和多光束 (multi-beam) 檢測設(shè)備制造。

ASM 最新設(shè)立于臺南的 EUV 全球技術(shù)培訓(xùn)中心，座落于臺南科學(xué)園區(qū)，臨近臺積電高端制程的 12 寸廠。該培訓(xùn)中心配備實機模塊 （live module），提供技術(shù)理論課程和無塵室實機操作課程等培訓(xùn)內(nèi)容。該中心目前有 14 位講師，估計每年可提供數(shù)千小時的課程，每年培育 360 個 EUV 技術(shù)工程師。