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          阿斯麥ASML全新EUV光刻機將于2021年中期發(fā)貨
          
						
          
				作者：
				時間：2020-10-15
				來源：《科創(chuàng)板日報》
				
				
				
				
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          14日訊，《科創(chuàng)板日報》記者從ASML獲悉，其公布了EUV路線圖上的新機型TWINSCANNXE:3600D的最終規(guī)格，這是30mJ/cm2的曝光速度達到每小時曝光160片晶圓，提高了18%的生產(chǎn)率，并改進機器匹配套準精度至1.1納米，并計劃于2021年的中期開始發(fā)貨。
          本文引用地址：http://www.ex-cimer.com/article/202010/419226.htm          
				
            
                
			
							
          
                
			              
              
            
          
		
          
		
          
		
          
		
          
		
          
			
            
				
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