ASML澄清與中芯國(guó)際交易EUV與DUV光刻機(jī)一字之差大不同
近日,中芯國(guó)際與ASML達(dá)成12億美元交易購(gòu)買晶圓生產(chǎn)設(shè)備的消息引發(fā)關(guān)注。針對(duì)雙方此次合作,有媒體報(bào)道稱“除了EUV光刻機(jī),中芯國(guó)際幾乎可以買到其他所有型號(hào)的光刻機(jī)。”但是這一說(shuō)法很快被ASML官方澄清,該協(xié)議與DUV光刻技術(shù)的現(xiàn)有協(xié)議相關(guān)。
可能很多網(wǎng)友看到這里有點(diǎn)蒙圈,這繞來(lái)繞去的到底是玩的什么文字游戲。這里先進(jìn)行一個(gè)小科普,EUV和DUV到底有啥區(qū)別呢?EUV也就是“極深紫外線”的意思,而DUV是“深紫外線”的意思,通過字面就知道EUV看上去就比DUV高級(jí),實(shí)際上也是如此。
一般來(lái)講,DUV基本上只能做到25nm,Intel憑借雙工作臺(tái)的模式做到了10nm,但是卻無(wú)法達(dá)到10nm以下。只有EUV能滿足10nm以下的晶圓制造,并且還可以向5nm、3nm繼續(xù)延伸。事實(shí)上EUV光刻機(jī)的出現(xiàn),確實(shí)是幫助業(yè)界突破7nm制程的一個(gè)關(guān)鍵。
當(dāng)年不是傳說(shuō)已經(jīng)翻車的武漢弘芯曾經(jīng)擁有也是國(guó)內(nèi)唯一一臺(tái)可以用于生產(chǎn)7nm芯片的EUV光刻機(jī)嘛,但還沒啟用就拉去銀行抵押貸款了。這一事件曾經(jīng)一度引起業(yè)界轟動(dòng),并作為人們茶余飯后的談資流傳至今,由此可見7nm EUV光刻機(jī)是多么關(guān)鍵的存在。
ASMLEUV光刻機(jī)
好了,回到正題。關(guān)于中芯國(guó)際和ASML雙方的聲明,到底該如何理解呢?愚鈍的小編思考了半天,大致理解為他們說(shuō)的其實(shí)是“除了EUV都能”和“僅限現(xiàn)有DUV”的區(qū)別,乍看之下再聯(lián)想到目前的現(xiàn)狀這兩者其實(shí)沒什么區(qū)別,但是ASML的說(shuō)法更嚴(yán)謹(jǐn)一些。
因?yàn)槿绻磥?lái)技術(shù)更先進(jìn)了,又出來(lái)一個(gè)"FUV"光刻機(jī)呢,那“除了EUV都可以”的說(shuō)法是存在漏洞的?;蛘逜SML技術(shù)爆發(fā)了,通過DUV技術(shù)就做到了1nm先進(jìn)工藝,所以ASML非常嚴(yán)謹(jǐn)?shù)脑O(shè)立定了兩個(gè)限制條件:"該協(xié)議與DUV光刻技術(shù)的現(xiàn)有協(xié)議相關(guān)。"
中芯國(guó)際采購(gòu)的是DUV光刻機(jī)
評(píng)論