俄羅斯投資6.7億盧布，開發(fā)新型的光刻機(jī)，性能或?qū)⒊紼UV光刻機(jī)

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上一篇文章，我們說了，佳能在開發(fā)3D光刻機(jī)，可以說在疊加芯片方向上，又走出了堅(jiān)實(shí)的一步。那么為什么佳能要朝這個(gè)方向努力？只能說ASML在EUV光刻機(jī)方面，壟斷能力太強(qiáng)了，其他人很難追趕得上，所以只能另辟蹊徑，例如通過3D光刻機(jī)制造橫向縱向疊加的芯片，以此來達(dá)到更好的性能。

俄烏沖突之后，歐美西方國(guó)家全方面制裁俄羅斯，在半導(dǎo)體領(lǐng)域自然也是如此，俄羅斯最大的半導(dǎo)體廠商米克朗也被美國(guó)制裁。

據(jù)悉，米克朗出口了俄羅斯微電子產(chǎn)品的 50% 以上，它的前身為成立于1964年3月前蘇聯(lián)時(shí)期的分子電子研究所。在上世紀(jì)七十年代，米克朗是蘇聯(lián)第一個(gè)開發(fā)和制造大規(guī)模集成電路的公司。

2006年，米克朗獲得了歐洲半導(dǎo)體巨頭意法半導(dǎo)體的技術(shù)轉(zhuǎn)讓，從此具備生產(chǎn)0.18μm芯片的能力，后來又在此基礎(chǔ)上，于2008年和2009年分別實(shí)現(xiàn)130nm和90nm工藝，到了2016年，實(shí)現(xiàn)了65nm。目前，米克朗也是唯一一家能量產(chǎn)65nm制程的俄羅斯本土企業(yè)。

其實(shí)，俄羅斯的芯片采購(gòu)量很低，還不到全球總量的1%，但也沒能擺脫美國(guó)的霸權(quán)打擊。 所以，俄羅斯決心開始開發(fā)光刻機(jī)。

近日，俄羅斯宣布將投資6.7億盧布，折合成人民幣約5100萬元，開發(fā)新一代的光刻機(jī)，并且俄羅斯莫斯科電子技術(shù)學(xué)院已經(jīng)承接了該項(xiàng)任務(wù)。

俄羅斯媒體報(bào)道稱：俄羅斯將研發(fā)當(dāng)前全球最先進(jìn)的X射線光刻機(jī)，或比ASML的EUV光刻機(jī)性能更先進(jìn)。

看到這個(gè)消息，很多人會(huì)有2個(gè)疑問。一是這個(gè)錢夠嗎？才5100萬。二是真的能超過EUV光刻機(jī)嗎？甚至覺得這個(gè)消息有點(diǎn)扯。

大家也別著急。

首先在錢的問題上，這次的6.7億盧布是首批資金，后面應(yīng)該還會(huì)有投入。至于花多少錢辦多少事兒，或許一家一個(gè)樣吧，暫時(shí)也不好評(píng)論。另外，如果錢實(shí)在不夠，俄羅斯也可以多賣點(diǎn)石油天然氣，還可以漲點(diǎn)價(jià)再賣，反制這2個(gè)東西有的是。

其次，俄羅斯研發(fā)的光刻機(jī)，只是計(jì)劃達(dá)到EUV級(jí)別，并非EUV光刻機(jī)，二者的技術(shù)原理完全不同，所有美國(guó)和ASML沒法限制。

另外俄羅斯的X射線光刻機(jī)是基于同步加速器或等離子體源的無掩模X射線光刻機(jī)，甚至在某些地方，要比EUV光刻機(jī)好。

目前，俄羅斯莫斯科電子技術(shù)學(xué)院與其他科研機(jī)構(gòu)以及科學(xué)家團(tuán)隊(duì)，在無掩模光刻領(lǐng)域方面取得了進(jìn)展。同時(shí)，還有澤列諾格勒的同步加速器，以及先進(jìn)的離子源，所以俄羅斯媒體也很有信心地公開表示，這種光刻機(jī)將實(shí)現(xiàn)28nm、16nm及以下的工藝制程。

那么X射線能用來光刻嗎？

其實(shí)這種技術(shù)很早就有了，不論是美國(guó)、歐洲還是我國(guó)，都研制過X射線光刻機(jī)，但因?yàn)樾什?，一般只適合特定場(chǎng)景的芯片制造，不適合量產(chǎn)場(chǎng)景，所以X射線光刻機(jī)一直沒能取得大范圍的推廣和應(yīng)用。

X射線大家肯定不陌生，在醫(yī)院里很常見，很難想象它能應(yīng)用到光刻機(jī)領(lǐng)域。但很多人可能沒想到，X射線的波長(zhǎng)比EUV極紫外光還要短。

X射線光刻機(jī)使用的是X射線，其波長(zhǎng)介于0.01nm到10nm之間，而EUV光刻機(jī)使用的是極紫外光波長(zhǎng)為13.5nm，可以用于制造7nm及以下的芯片，所以單純看數(shù)據(jù)，X射線光刻機(jī)是可以達(dá)到EUV光刻機(jī)的工藝水平的。

另外，X射線光刻機(jī)還有一個(gè)優(yōu)勢(shì)，那就是不需要光掩模版，可以直寫光刻，工藝環(huán)節(jié)少了一個(gè)步驟，不僅成本降低了，良品率也會(huì)得到提高。

當(dāng)然，說到這兒，還是有很多人會(huì)懷疑，俄羅斯到底有沒有能力研發(fā)出光刻機(jī)。

其實(shí)承接這個(gè)項(xiàng)目的莫斯科電子技術(shù)學(xué)院是一所非常厲害的大學(xué)，是俄羅斯高科技領(lǐng)域領(lǐng)先的技術(shù)大學(xué)，它屬于俄羅斯國(guó)立研究型大學(xué)，1965年建校，特色學(xué)科就是微電子學(xué)、信息技術(shù)和計(jì)算機(jī)工程，擁有現(xiàn)代化的實(shí)驗(yàn)室和大量的科技人才。

其實(shí)半導(dǎo)體領(lǐng)域除了資金要求以外，更重要的是人才，而俄羅斯向來不缺人才。例如，2000年左右的時(shí)候，華為陷入到3G研發(fā)的技術(shù)瓶頸，后來研發(fā)團(tuán)隊(duì)發(fā)現(xiàn)一位俄羅斯數(shù)學(xué)家提出的SingleRAN算法可以取得技術(shù)突破，最后將其招致麾下，并在俄羅斯為這位數(shù)學(xué)家單獨(dú)設(shè)立了研究院。

后來，采用這位數(shù)學(xué)家算法的交換機(jī)不但信號(hào)穩(wěn)定，體積更小，而且成本降低了2/3，華為憑借著這款交換機(jī)，成功的打開了荷蘭電信市場(chǎng)，最終在歐洲站穩(wěn)了腳跟。

而且俄羅斯開發(fā)這種光刻機(jī)，還是有很強(qiáng)的技術(shù)基礎(chǔ)，并不是從零開始的。

當(dāng)然，即便如此，還是有很多人不看好這個(gè)事兒，畢竟光刻機(jī)真的是太難了，ASML的EUV光刻機(jī)也不是單它自己，甚至是荷蘭一個(gè)國(guó)家能造出來的，它集合了多個(gè)國(guó)家的技術(shù)、零部件才能打造而成。但科技不就是把不可能變?yōu)榭赡軉幔恐灰袥Q心，就有機(jī)會(huì)。

總之，如果俄羅斯真的能把這款X射線光刻機(jī)實(shí)現(xiàn)，那么對(duì)于我國(guó)來說也是一個(gè)非常好的啟示，以我們的技術(shù)實(shí)力和資金實(shí)力，應(yīng)該很快就可以在這個(gè)技術(shù)路線上取得突破。另外， 中俄兩國(guó)也可以考慮合作，加快開發(fā)進(jìn)度，或者我們買來直接用。而且我國(guó)是世界上最大的芯片進(jìn)口國(guó)，市場(chǎng)有了，什么都好說。

我想這次俄烏沖突以后，西方國(guó)家對(duì)俄羅斯的瘋狂制裁，足以讓世界各國(guó)看到，美國(guó)的霸權(quán)主義已經(jīng)接近瘋癲，制裁大棒變成了如同過家家的游戲，看誰不順眼、誰不聽話就揮舞著上去亂打，所以大家心里都很害怕。

那么有能力的國(guó)家一定會(huì)自己想辦法，盡量擺脫各種有可能被卡脖子的領(lǐng)域。中國(guó)在這樣做，現(xiàn)如今俄羅斯也要這樣做。那么世界上兩個(gè)超級(jí)大國(guó)通過努力，打破美國(guó)的霸權(quán)主義，那么對(duì)于全球幾十億人來說，都是一個(gè)值得歡慶的好事兒，不是嗎。