佳能推出晶圓測(cè)量機(jī)新品 MS-001：比光刻機(jī)精度更高，可提高生產(chǎn)效率

IT之家 2 月 21 日消息，在邏輯、存儲(chǔ)器、CMOS 傳感器等尖端半導(dǎo)體領(lǐng)域，制造工藝日趨復(fù)雜，半導(dǎo)體元器件制造廠商為了制造出高精度的半導(dǎo)體元器件，需要提高套刻的精度，因而曝光前要測(cè)量的對(duì)準(zhǔn)測(cè)量點(diǎn)也越來(lái)越多。

如果在半導(dǎo)體光刻機(jī)中對(duì)數(shù)量眾多的測(cè)量點(diǎn)進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)測(cè)量的話，測(cè)量本身會(huì)非常耗時(shí)，進(jìn)而就會(huì)降低半導(dǎo)體光刻機(jī)的生產(chǎn)效率。為此，半導(dǎo)體制造領(lǐng)域引進(jìn)了晶圓測(cè)量機(jī)，將半導(dǎo)體光刻機(jī)的對(duì)準(zhǔn)測(cè)量功能分離出來(lái)，以此來(lái)確保生產(chǎn)的高精度和效率。

2 月 21 日，佳能推出了半導(dǎo)體制造用晶圓測(cè)量機(jī)“MS-001”，該產(chǎn)品可以對(duì)晶片進(jìn)行高精度的對(duì)準(zhǔn)測(cè)量。

▲ MS-001

據(jù)介紹，“MS-001”所搭載的調(diào)準(zhǔn)用示波器安裝有區(qū)域傳感器，可以進(jìn)行多像素測(cè)量，降低測(cè)量時(shí)的噪音。另外，“MS-001”還可以對(duì)多個(gè)種類的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記進(jìn)行測(cè)量。

通過(guò)采用新開發(fā)的調(diào)準(zhǔn)用示波器光源，新產(chǎn)品可提供的波長(zhǎng)范圍比在半導(dǎo)體光刻設(shè)備中測(cè)量時(shí)大 1.5 倍，能夠以用戶所需的任意波長(zhǎng)進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)測(cè)量。因此，相較于在半導(dǎo)體光刻設(shè)備中所進(jìn)行的測(cè)量，“MS-001”所能實(shí)現(xiàn)的對(duì)準(zhǔn)測(cè)量精度要更高。

▲ 增加的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記（示意）

佳能表示，隨著新產(chǎn)品的應(yīng)用，可以在晶片運(yùn)送至半導(dǎo)體光刻設(shè)備之前統(tǒng)一完成大部分的對(duì)準(zhǔn)測(cè)量，減輕在半導(dǎo)體光刻設(shè)備中進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)測(cè)量操作的工作量，從而提高半導(dǎo)體光刻設(shè)備的生產(chǎn)效率。