Ameya360:平面MOSFET與超級結(jié)MOSFET區(qū)別
今天,Ameya360給大家介紹近年來MOSFET中的高耐壓MOSFET的代表超級結(jié)MOSFET。
本文引用地址:http://www.ex-cimer.com/article/202303/444309.htm功率晶體管的特征與定位
首先來看近年來的主要功率晶體管Si-MOSFET、IGBT、SiC-MOSFET的功率與頻率范圍。因?yàn)榻酉聛淼膸灼獙⒄?a class="contentlabel" href="http://www.ex-cimer.com/news/listbylabel/label/超級結(jié)MOSFET">超級結(jié)MOSFET相關(guān)的話題,因此希望在理解Si-MOSFET的定位的基礎(chǔ)上,根據(jù)其特征和特性對使用區(qū)分有個初步印象。
下圖表示處理各功率晶體管的功率與頻率范圍。可以看出,Si-MOSFET在這個比較中,導(dǎo)通電阻與耐壓略遜于IGBT和SiC-MOSFET,但在低~中功率條件下,高速工作表現(xiàn)更佳。
平面MOSFET與超級結(jié)MOSFET
Si-MOSFET根據(jù)制造工藝可分為平面MOSFET和超級結(jié)MOSFET。簡而言之,就是在功率晶體管的范圍,為超越平面結(jié)構(gòu)的極限而開發(fā)的就是超級結(jié)結(jié)構(gòu)。
如下圖所示,平面結(jié)構(gòu)是平面性地構(gòu)成晶體管。這種結(jié)構(gòu)當(dāng)耐壓提高時,漂移層會增厚,存在導(dǎo)通電阻增加的課題。而超級結(jié)結(jié)構(gòu)是排列多個垂直PN結(jié)的結(jié)構(gòu),可保持耐壓的同時降低導(dǎo)通電阻RDS(ON)與柵極電荷量Qg。
另外,內(nèi)部二極管的反向電流irr和反向恢復(fù)時間trr是作為晶體管的關(guān)斷開關(guān)特性的探討項(xiàng)目。如下面的波形圖所示,基本上超級結(jié)MOSFET的PN結(jié)面積比平面MOSFET大,因此與平面MOSFET相比,具有trr速度更快、但irr較多的特性。
這種特性作為超級結(jié)MOSFET的課題在不斷改善,因其高速性和低噪聲特征,超級結(jié)MOSFET有一些變化。從下篇開始,將介紹每種變化的特征。
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