Ameya360：平面MOSFET與超級結(jié)MOSFET區(qū)別

今天,Ameya360給大家介紹近年來MOSFET中的高耐壓MOSFET的代表超級結(jié)MOSFET。

功率晶體管的特征與定位

首先來看近年來的主要功率晶體管Si-MOSFET、IGBT、SiC-MOSFET的功率與頻率范圍。因為接下來的幾篇將談超級結(jié)MOSFET相關的話題，因此希望在理解Si-MOSFET的定位的基礎上，根據(jù)其特征和特性對使用區(qū)分有個初步印象。

下圖表示處理各功率晶體管的功率與頻率范圍?？梢钥闯?，Si-MOSFET在這個比較中，導通電阻與耐壓略遜于IGBT和SiC-MOSFET，但在低～中功率條件下，高速工作表現(xiàn)更佳。

平面MOSFET與超級結(jié)MOSFET

Si-MOSFET根據(jù)制造工藝可分為平面MOSFET和超級結(jié)MOSFET。簡而言之，就是在功率晶體管的范圍，為超越平面結(jié)構(gòu)的極限而開發(fā)的就是超級結(jié)結(jié)構(gòu)。

如下圖所示，平面結(jié)構(gòu)是平面性地構(gòu)成晶體管。這種結(jié)構(gòu)當耐壓提高時，漂移層會增厚，存在導通電阻增加的課題。而超級結(jié)結(jié)構(gòu)是排列多個垂直PN結(jié)的結(jié)構(gòu)，可保持耐壓的同時降低導通電阻RDS(ON)與柵極電荷量Qg。

另外，內(nèi)部二極管的反向電流irr和反向恢復時間trr是作為晶體管的關斷開關特性的探討項目。如下面的波形圖所示，基本上超級結(jié)MOSFET的PN結(jié)面積比平面MOSFET大，因此與平面MOSFET相比，具有trr速度更快、但irr較多的特性。

這種特性作為超級結(jié)MOSFET的課題在不斷改善，因其高速性和低噪聲特征，超級結(jié)MOSFET有一些變化。從下篇開始，將介紹每種變化的特征。