EUV機(jī)臺(tái)被砍單？ 業(yè)界：不太可能

終端市場(chǎng)需求低迷，近期市場(chǎng)傳出臺(tái)積電將宣布調(diào)降今年資本支出，恐沖擊艾司摩爾（ASML）及應(yīng)用材料等設(shè)備廠出貨，甚至傳出艾司摩爾極紫外光（EUV）機(jī)臺(tái)被砍單消息，不過(guò)業(yè)界普遍認(rèn)為可能性不高，原因在于EUV機(jī)臺(tái)交期長(zhǎng)達(dá)12～15個(gè)月，且中長(zhǎng)期來(lái)看EUV產(chǎn)能仍供不應(yīng)求。

ASML預(yù)計(jì)19日舉行法人說(shuō)明會(huì)，可望針對(duì)EUV曝光機(jī)已接訂單（backlog）變化提出說(shuō)明。半導(dǎo)體生產(chǎn)鏈仍在進(jìn)行庫(kù)存調(diào)整，市場(chǎng)傳出臺(tái)積電可能在法人說(shuō)明會(huì)中下修全年資本支出，加上內(nèi)存廠放慢擴(kuò)產(chǎn)計(jì)劃，將導(dǎo)致EUV曝光機(jī)訂單減少或延后，受此消息影響，EUV概念股家登、帆宣17日股價(jià)明顯有壓。

不過(guò)，業(yè)界人士對(duì)于EUV曝光機(jī)被砍單消息有所質(zhì)疑，主要原因在于EUV設(shè)備是屬于訂制化生產(chǎn)，且設(shè)備系統(tǒng)交期長(zhǎng)達(dá)12～15個(gè)月，所以采購(gòu)EUV機(jī)臺(tái)是屬于中長(zhǎng)期的產(chǎn)能規(guī)劃，并不會(huì)因?yàn)槎唐诘木皻庋h(huán)波動(dòng)而砍單。

以目前主流的0.33數(shù)值孔徑（NA）來(lái)說(shuō)，5納米邏輯制程每片晶圓平均EUV光罩層逾10層，但3納米邏輯制程每片晶圓平均EUV光罩層約將倍增達(dá)20層以上，而EUV機(jī)臺(tái)每小時(shí)晶圓產(chǎn)出（throughput）提升緩慢，隨3納米制程開(kāi)始導(dǎo)入量產(chǎn)，反而需要更多機(jī)臺(tái)因應(yīng)產(chǎn)能提升及制程微縮，整體EUV產(chǎn)能仍供不應(yīng)求。

業(yè)者表示，短期景氣循環(huán)沖擊半導(dǎo)體廠資本支出，但臺(tái)積電、英特爾、三星等大廠在先進(jìn)制程的投資并沒(méi)有縮減，所以EUV曝光機(jī)交期也沒(méi)有因近期景氣變動(dòng)而縮短。目前業(yè)界普遍認(rèn)為市場(chǎng)景氣下半年緩步復(fù)蘇，明年進(jìn)入新的成長(zhǎng)循環(huán)，所以不太可能在這個(gè)時(shí)間點(diǎn)對(duì)EUV機(jī)臺(tái)砍單。