彌費(fèi)科技宣布完成晶圓廠整廠AMHS系統(tǒng)驗證交付

9月25日至27日北京微電子國際研討會暨IC WORLD大會在京隆重召開，彌費(fèi)科技董事長、CEO繆峰受邀出席并在27日的專題論壇「集成電路專用設(shè)備的機(jī)遇與挑戰(zhàn)」中帶來《適用于半導(dǎo)體晶圓廠的國產(chǎn)自動物料傳送系統(tǒng)AMHS》的主題演講，分享半導(dǎo)體晶圓廠國產(chǎn)化AMHS的關(guān)鍵性技術(shù)挑戰(zhàn)與市場機(jī)會，并首次公開了在半導(dǎo)體領(lǐng)域整廠級AMHS國產(chǎn)替代成功交付的最新案例。

作為中國領(lǐng)先的半導(dǎo)體晶圓廠AMHS設(shè)備整體解決方案供應(yīng)商，彌費(fèi)科技完成了從AMHS產(chǎn)品供應(yīng)商向AMHS系統(tǒng)級供應(yīng)商的演進(jìn)，采用公司AMHS硬件設(shè)備及軟件的整廠訂單已被國內(nèi)最大的專注于車規(guī)級碳化硅芯片制造企業(yè)廣東芯粵能半導(dǎo)體有限公司驗收通過。此次成功交付展示了彌費(fèi)科技在該領(lǐng)域的技術(shù)實力和解決方案的可靠性，也代表著彌費(fèi)科技成為國內(nèi)首家具備晶圓廠整廠級AMHS解決方案、量產(chǎn)能力、項目實施經(jīng)驗和交付案例的國產(chǎn)替代供應(yīng)商，填補(bǔ)了國產(chǎn)半導(dǎo)體AMHS系統(tǒng)在該領(lǐng)域的空白。

AMHS是一套復(fù)雜的自動化搬運(yùn)系統(tǒng)，對工廠自動化尤為重要。以大陸目前量產(chǎn)的先進(jìn)工藝節(jié)點(diǎn)28nm為例，其平均光刻層數(shù)近50層、工藝步驟超過1000步、生產(chǎn)周期90天左右，一個4萬片月產(chǎn)能28nm工藝節(jié)點(diǎn)的全自動晶圓廠每天的晶圓盒傳送量超10萬次，相比于晶圓廠AMHS系統(tǒng)，面板廠的傳送量僅為半導(dǎo)體晶圓廠的1%。晶圓廠搬送的載體一般是5-10公斤的晶圓盒，而面板廠一般是幾百斤的玻璃基板，搬送效率和復(fù)雜度完全不是一個級別。對于面板廠和晶圓廠的AMHS系統(tǒng)來說，是兩套完全不同的標(biāo)準(zhǔn)，不能兼容。

半導(dǎo)體芯片制造流程復(fù)雜，生產(chǎn)工序達(dá)上千道，晶圓制作過程技術(shù)要求較高。晶圓廠的AMHS系統(tǒng)由硬件設(shè)備及全自動控制軟件構(gòu)成，數(shù)量眾多的AMHS設(shè)備在AMHS軟件的控制下實現(xiàn)全自動物料智能搬運(yùn)，實現(xiàn)晶圓廠無人化運(yùn)轉(zhuǎn)，一套高效的AMHS系統(tǒng)可以在極大程度上減少在制品的等待時間，對保持和提升晶圓廠的產(chǎn)量、稼動率、良率等核心生產(chǎn)指標(biāo)至關(guān)重要。隨著芯片工藝節(jié)點(diǎn)的不斷升級，晶圓廠的工藝制造流程與AMHS系統(tǒng)的結(jié)合已成為晶圓廠生產(chǎn)建設(shè)必不可少的重要規(guī)劃，對于晶圓廠至關(guān)重要。

*一般一座12寸40nm 40000片月產(chǎn)能的晶圓廠通常包含約200臺天車構(gòu)成的天車傳送系統(tǒng)、約25-30臺大型存儲設(shè)備和10000臺以上的空中緩存單元，以及其他各種形式的傳輸、存儲 、凈化設(shè)備。

"通過自動化、智能化的改造可大幅提升設(shè)備生產(chǎn)效率和產(chǎn)品良率， AMHS可實現(xiàn)半導(dǎo)體晶圓廠生產(chǎn)線間物料的無塵自動搬運(yùn)，減少搬運(yùn)過程的振動，滿足半導(dǎo)體的精密化生產(chǎn)需求，提升半導(dǎo)體的生產(chǎn)效率，已成為眾多先進(jìn)晶圓廠的標(biāo)配。"芯粵能表示，"此次彌費(fèi)科技AMHS系統(tǒng)級解決方案驗證通過并順利交付，提高了芯粵能工廠的自動化水平，實現(xiàn)了智能化管理，有望幫助芯粵能大幅提高生產(chǎn)效率，保證產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定性。"

彌費(fèi)科技董事長兼CEO繆峰表示，今年第四季度，預(yù)計彌費(fèi)科技將進(jìn)一步實現(xiàn)8英寸和12英寸半導(dǎo)體晶圓廠AMHS的整廠量產(chǎn)交付，這意味著海外寡頭在過去20～30年對半導(dǎo)體AMHS這一細(xì)分賽道上壟斷局面將被徹底打破。彌費(fèi)科技作為半導(dǎo)體自動化領(lǐng)域的后起之秀，憑借優(yōu)異的產(chǎn)品技術(shù)能力和在行業(yè)內(nèi)取得的良好口碑，已成為中國境內(nèi)極少數(shù)能提供成套半導(dǎo)體晶圓廠AMHS的中國本土供應(yīng)商之一。