<meter id="pryje"><nav id="pryje"><delect id="pryje"></delect></nav></meter>
          <label id="pryje"></label>

          新聞中心

          EEPW首頁 > EDA/PCB > 業(yè)界動態(tài) > ASML 向英特爾交付首臺高數(shù)值孔徑光刻設備

          ASML 向英特爾交付首臺高數(shù)值孔徑光刻設備

          作者: 時間:2023-12-22 來源:IT之家 收藏

          IT之家 12 月 22 日消息, 公司近日通過官方 X(推特)賬號發(fā)布推文,宣布已經(jīng)向交付首臺高數(shù)值孔徑光刻設備。

          本文引用地址:http://www.ex-cimer.com/article/202312/454205.htm

          IT之家此前報道, 研制的高數(shù)值孔徑光刻設備主要用于生產(chǎn) 2nm 工藝半導體芯片,數(shù)值孔徑(NA)光學性能從 0.33 提高到 0.55。

          明年規(guī)劃產(chǎn)能僅有 10 臺,而已經(jīng)預訂了其中 6 臺,不過 ASML 計劃在未來幾年內(nèi)將此設備產(chǎn)能提高到每年 20 臺。

          ASML 新的高數(shù)值孔徑 EUV 系統(tǒng)涉及一種全新的工具,具有 0.55 數(shù)值孔徑的鏡頭,分辨率為 8 納米。

          ASML 官方并未說明向交付了哪款型號的光刻設備,非官方消息來源稱本次交付的是 Twinscan EXE:5000 原型,交付給英特爾位于俄勒岡州的研究中心。

          報道稱本次交付采用了 250 個大箱包裝,共計占用了 13 個集裝箱,考慮到交貨時間和后續(xù)安裝,真正投入使用還需要數(shù)月時間。

          此外報道稱,英特爾在量產(chǎn)過程中,會使用 ASML 更先進的 Twinscan EXE:5200 光刻設備,預估一臺成本為 2.5 億歐元。




          關鍵詞: ASML 光刻機 英特爾

          評論


          相關推薦

          技術專區(qū)

          關閉
          看屁屁www成人影院,亚洲人妻成人图片,亚洲精品成人午夜在线,日韩在线 欧美成人 (function(){ var bp = document.createElement('script'); var curProtocol = window.location.protocol.split(':')[0]; if (curProtocol === 'https') { bp.src = 'https://zz.bdstatic.com/linksubmit/push.js'; } else { bp.src = 'http://push.zhanzhang.baidu.com/push.js'; } var s = document.getElementsByTagName("script")[0]; s.parentNode.insertBefore(bp, s); })();