DUV光刻機(jī)出口許可被撤 ASML:中國(guó)訂單已全數(shù)交付
近日光刻機(jī)巨頭ASML發(fā)布公告稱,去年2型DUV光刻機(jī)已獲準(zhǔn)的出口許可證突然遭到撤銷(xiāo),不過(guò),中國(guó)大陸客戶預(yù)付購(gòu)買(mǎi)DUV光刻機(jī)所積壓訂單基本都已完成交付。
本文引用地址:http://www.ex-cimer.com/article/202401/454450.htm據(jù)ASML指出,2023年NXT:2050i、NXT:2100i光刻系統(tǒng)的出貨許可證突然被撤銷(xiāo),不過(guò)這沒(méi)有太多可以擔(dān)心的地方,因?yàn)?/span>2023年ASML基本已交付了中國(guó)大陸客戶預(yù)付的DUV積壓訂單,至于2023年之后是否能繼續(xù)出口DUV光刻,在此之前本就無(wú)法確定。
《快科技》報(bào)導(dǎo)說(shuō),事實(shí)上2023年ASML一直都在向中國(guó)客戶供應(yīng)光刻機(jī),其中就包含了NXT:2000i和更先進(jìn)的DUV型號(hào)的產(chǎn)品。至于更先進(jìn)的7nm以下更先進(jìn)的EUV光刻機(jī),ASML依然不能對(duì)中國(guó)客戶出售。
據(jù)ASML官網(wǎng)提供的信息,該公司目前在售的主流浸沒(méi)式DUV光刻機(jī)產(chǎn)品共有3款,分別是:TWINSCAN NXT:1980Di、TWINSCAN NXT:2000i、TWINSCAN NXT:2050i。
報(bào)導(dǎo)說(shuō),ASML官網(wǎng)上關(guān)于TNXT:1980Di介紹中指出,它在分辨率方面不小于38nm(可以支持到7nm左右),而這是指一次曝光分辨率,事實(shí)上光刻機(jī)是可以進(jìn)行多次曝光。
至于DUV是否能進(jìn)行7nm以下更先進(jìn)的制程?據(jù)臺(tái)積電前研發(fā)副總林本堅(jiān)(Burn Lin)表示,依靠ASML的DUV光刻機(jī),是可以繼續(xù)將制程工藝從7nm再推向5nm,但要付出非常高昂的代價(jià),至少需要進(jìn)行4重曝光,耗時(shí)而且價(jià)格昂貴,還會(huì)影響整體良率。DUV最多可以做6重曝光,實(shí)現(xiàn)更先進(jìn)的工藝,但問(wèn)題與困難也會(huì)更多。
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