ASML兩款光刻機出口許可被撤銷
1月2日,全球光刻機龍頭ASML在官網發布聲明稱,荷蘭政府最近撤銷了此前頒發給其2023年發貨NXT:2050i和NXT:2100i光刻機的部分出口許可證,這將對ASML在中國內地的個別客戶產生影響。
本文引用地址:http://www.ex-cimer.com/article/202401/454482.htm在聲明中,ASML表示:“在新的出口管制條例下,今年(指2023年)年底前ASML仍能履行已簽訂的合同,發運這些光刻設備??蛻粢惨阎こ隹诠苤茥l例所帶來的限制,即自2024年1月1日起,ASML將基本不會獲得向中國客戶發運這些設備的出口許可證?!鳖A計此次出口許可證撤銷及最新的美國出口管制限制不會對公司2023年的財務情況產生重大影響。
根據ASML官網消息,其浸潤式DUV光刻機主要包括NXT:2100i、NXT:2050i、NXT:2000i和NXT:1980Di,此次荷蘭政府部分撤銷出口許可證的兩種型號DUV光刻機,為其繼NXT:2000i之后推出的兩種最新的浸潤式DUV光刻機。
2023年3月,荷蘭政府的出口限制新規要求ASML需要申請出口許可證才能裝運DUV光刻機,主要涉及能生產先進制程芯片的高端DUV光刻機型號的采購,暫不影響2000i之前的型號。ASML去年也向荷蘭政府便申請了出口許可,獲批能夠在2023年年底前繼續履行客戶合同。
而美國去年10月17日公布的出口管制新規,對用于一些先進生產設施的某些次關鍵DUV浸沒光刻系統施加了限制。值得注意的是路透社提到,根據美國政府此前宣布的新規,如果阿斯麥Twinscan NXT1930Di光刻機含有任何美國部件,華盛頓也有權限制其出口。
ASML透露,最近該公司與美國政府就美國的出口管制法規的范圍和影響進行了討論。報道稱,在荷蘭新的對華出口管制1月全面生效前,ASML持有可向中國公司提供三款頂級浸潤式深紫外光刻機的許可證。知情人士稱,在ASML的出口許可證到期前數周,美國政府就要求ASML立即取消一部分向中國出口的設備,但并不清楚其具體的數量,這些設備每臺的成本可能高達數千萬美元。美國白宮國家安全委員會和荷蘭外交部發言人拒絕置評。
按照ASML的說法,2023年基本交付了中國大陸客戶預付的DUV積壓訂單。事實上,2023年ASML一直都在向中國客戶供應光刻機,其中就包含了NXT:2000i和更先進的DUV型號的產品,但先進的7nm、14nm等先進的EUV光刻機,ASML依然不能給中國客戶出售。
與此同時,中國企業也在加緊儲備被限制的光刻機設備。根據中國海關的數據,2023年7月至11月間,中國進口的光刻機激增了五倍多。ASML去年10月財報顯示,2023年第三季度若單看銷售額,該公司有46%的銷售收入來自中國大陸,去年同期僅15%。
ASML即將離任的首席執行官Peter Wennink在2023年10月份就告訴投資者,這些新的限制措施將影響該公司在中國多達15%的銷售額。Peter Wennink還曾公開反對這些措施,警告這最終或促使中國在高端芯片制造設備領域成功研發出自己的技術?!澳阍浇o他們施加壓力,他們越有可能加倍努力?!彼ツ?月接受彭博社采訪時說,“如果他們不能得到這些機器,他們就會自己研發這些機器。這需要時間,但最終他們會達到目標?!?/p>
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