“8英寸硅基壓電薄膜及壓電MEMS傳感器制造工藝平臺”項(xiàng)目啟動(dòng)

據(jù)賽微電子消息，近日，2023年度國家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃“智能傳感器”重點(diǎn)專項(xiàng)“8英寸硅基壓電薄膜及壓電MEMS傳感器制造工藝平臺”項(xiàng)目啟動(dòng)暨實(shí)施方案論證會在北京經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)召開。

該項(xiàng)目由賽微電子控股子公司賽萊克斯微系統(tǒng)科技（北京）有限公司牽頭，聯(lián)合武漢大學(xué)、蘇州大學(xué)、中國科學(xué)院空天信息創(chuàng)新研究院、中國科學(xué)院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所、武漢敏聲新技術(shù)有限公司、北京智芯微電子科技有限公司、成都纖聲科技有限公司、上海矽睿科技股份有限公司等單位共同實(shí)施。

資料顯示，賽萊克斯微系統(tǒng)科技（北京）有限公司專業(yè)從事半導(dǎo)體晶圓制造的技術(shù)開發(fā)、技術(shù)轉(zhuǎn)讓、技術(shù)咨詢、技術(shù)服務(wù)及產(chǎn)品制造等業(yè)務(wù)。

漢敏聲新技術(shù)有限公司以射頻濾波器為拳頭產(chǎn)品，同時(shí)覆蓋壓電式麥克風(fēng)以及壓電超聲傳感器芯片，致力于打造成一家集設(shè)計(jì)、生產(chǎn)和銷售于一體的IDM型企業(yè)。

北京智芯微電子科技有限公司是一家集成電路研發(fā)商，公司形成芯片傳感、通信控制、用電節(jié)能三大業(yè)務(wù)方向，產(chǎn)品可應(yīng)用于電網(wǎng)安全穩(wěn)定分析與控制、繼電保護(hù)、電網(wǎng)調(diào)度自動(dòng)化等。

上海矽睿科技有限公司成立于2012年9月，專注于MEMS智能傳感器業(yè)務(wù)，設(shè)計(jì)和生產(chǎn)優(yōu)質(zhì)傳感器產(chǎn)品，并為客戶提供相應(yīng)的智能應(yīng)用方案和服務(wù)。