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          三星旗下Semes成功開發(fā)出一種ArF-i光刻涂膠/顯影設(shè)備
          
						
          
				作者：
				時(shí)間：2024-06-26
				來源：全球半導(dǎo)體觀察
				
				
				
				
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          6月24日，三星電子旗下的韓國半導(dǎo)體和顯示器制造設(shè)備公司表示，第一臺(tái)名為“Omega Prime”的設(shè)備已于去年供貨，Semes正在制造第二臺(tái)設(shè)備。
          本文引用地址：http://www.ex-cimer.com/article/202406/460341.htm
          Semes表示，在Omega Prime設(shè)備上應(yīng)用了噴嘴、烘烤溫度和機(jī)器人位置自動(dòng)調(diào)整系統(tǒng)，以消除涂布層的偏差。
          目前，Semes已制造出KrF光刻涂膠/顯影設(shè)備，并在此基礎(chǔ)上開發(fā)了ArF版本，以支持波長更短的新型光刻機(jī)。

          
				
            
                
			
							
          
                
			              
              
            
          
		
          
		
          
		
          
		
          
		
          
			
            
				
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