中微公司二十載風華正茂，臨港基地落成共啟新篇章

中微半導體設備（上海）股份有限公司（以下簡稱“中微公司”）近日迎來成立20周年紀念日，并于臨港產(chǎn)業(yè)化基地隆重舉行“20周年盛會華章暨臨港基地落成慶典”。上海市委常委、臨港新片區(qū)黨工委書記、管委會主任陳金山等各級相關(guān)政府領(lǐng)導、行業(yè)合作伙伴、股東代表等約800人出席活動，共同見證了這一具有深遠意義的重要時刻。臨港產(chǎn)業(yè)化基地的正式投入使用，為中微公司風華正茂二十載的發(fā)展歷程再添輝煌一筆，為未來的加速發(fā)展注入新的活力和動力, 也為不斷攀登巔峰的征程開啟了新篇章。

中微公司董事長、總經(jīng)理尹志堯博士致辭

慶典活動上，政府領(lǐng)導代表、中微公司創(chuàng)始人、董事長兼總經(jīng)理尹志堯博士攜公司初創(chuàng)團隊成員共同按下啟動裝置，宣布臨港產(chǎn)業(yè)化基地正式啟用。臨港產(chǎn)業(yè)化基地占地約157畝、總建筑面積約18萬平方米，配備行業(yè)領(lǐng)先的實驗室、業(yè)界高標準的潔凈室、先進的生產(chǎn)車間及智能化立體倉庫等設施，可實現(xiàn)生產(chǎn)全程數(shù)字化、智能化管理，從而為公司進一步強化生產(chǎn)能力、研發(fā)能力和科技創(chuàng)新水平提供了有力支撐。

中微公司臨港產(chǎn)業(yè)化基地啟用儀式

“屹立在世界的東方，迎著初升的太陽，攀登勇者的夢想，志在巔峰的殿堂……”慶典活動在為中微公司20周年特別創(chuàng)作的《中微之歌》中拉開序幕?！靶酒阶鲈叫?，我們越戰(zhàn)越強”，這首《中微之歌》由尹志堯博士親自擔任制作人，著名作曲家安棟教授作曲，金牌作詞人甘世佳作詞，旋律慷慨激昂，鏗鏘有力，不僅承載著中微人“攀登勇者，志在巔峰”的理想和追求，也唱出了所有科創(chuàng)人的心聲和夢想。

在慶典上，中微公司創(chuàng)始人、董事長兼總經(jīng)理尹志堯博士發(fā)表講話，他表示：“20年前，我們從一張白紙，籌劃實現(xiàn)高端芯片設備的宏偉夢想。我們一次次沖破險阻而立于不敗之地，這一切都源自我們‘攀登勇者，志在巔峰’的雄心壯志和‘自強不息，厚德載物’的團隊奮斗精神！這一切都來源于我們所認同的和我們所遵循的‘四個十大’，這包括：產(chǎn)品開發(fā)的十大原則，戰(zhàn)略銷售的十大準則，營運管理的十大章法和精神文化的十大作風。今天，我們的心中充滿了感激。我們所從事的半導體微觀加工設備的產(chǎn)業(yè)，是數(shù)碼產(chǎn)業(yè)基石，我們選擇的是打造‘國之重器’這條艱難的道路。中微公司上下一心，用技術(shù)的創(chuàng)新，產(chǎn)品的差異化和知識產(chǎn)權(quán)的保護，攻克了一個又一個的技術(shù)難關(guān)，用優(yōu)質(zhì)過硬的產(chǎn)品獲得了市場認可，用高效完善的服務贏得了客戶信賴?；厥走^往的二十年，我們實現(xiàn)了從一到十的進展。展望下一個二十年，我們要實現(xiàn)十到一百的跨越！”

慶典儀式結(jié)束后，與會嘉賓們參觀了臨港產(chǎn)業(yè)化基地的多媒體展廳、研發(fā)與生產(chǎn)潔凈室、智能倉儲等生產(chǎn)區(qū)域以及員工宿舍、泳池、健身中心等生活區(qū)域，并對基地內(nèi)的各種軟硬件設施表示了高度贊賞。臨港產(chǎn)業(yè)化基地采用先進廠務管理系統(tǒng)，配備智能化立體倉庫，實現(xiàn)了對制造資源跟蹤、生產(chǎn)過程監(jiān)控。智能制造信息化平臺的搭建，讓中微公司大幅提高了生產(chǎn)質(zhì)量、生產(chǎn)效率，降低了生產(chǎn)成本，為保證全球客戶供應打下堅實基礎(chǔ)。臨港產(chǎn)業(yè)化基地踐行綠色發(fā)展理念，致力打造綠色工廠，并通過不斷探索實踐，積極應對氣候變化，助力公司2035年實現(xiàn)自身碳中和的目標。

中微公司臨港產(chǎn)業(yè)化基地

砥礪奮進，追求卓越

回顧中微公司二十年發(fā)展歷程，從2004年一張白紙開始的初創(chuàng)公司，成長為2019年首批科創(chuàng)板上市企業(yè)；從當初一支僅有15人的創(chuàng)業(yè)團隊，逐漸成長為如今全球員工超過兩千人的規(guī)模；從張江高科技園區(qū)內(nèi)一間不起眼的辦公室，逐步發(fā)展為廠房和辦公樓面積即將達到45萬平方米的規(guī)模；從起步階段在技術(shù)領(lǐng)域不斷探索嘗試，到擁有兩千余項授權(quán)專利、技術(shù)能力；從2007年首臺刻蝕設備、薄膜設備研制成功并運往國內(nèi)客戶，到2024年公司累計已有超5000個反應臺在國內(nèi)外130多條生產(chǎn)線實現(xiàn)量產(chǎn)和大規(guī)模重復性銷售，中微公司在二十年堅韌不拔的發(fā)展過程中，持續(xù)追求技術(shù)創(chuàng)新和卓越運營，深刻詮釋了“攀登勇者，志在巔峰”的中微精神。

二十年來，中微公司在不斷攀登高峰的路上成果頗豐。公司在科學技術(shù)、客戶滿意度、知識產(chǎn)權(quán)、質(zhì)量認證等領(lǐng)域獲得眾多贊譽，累計榮獲百余項知名獎項。在美國TechInsights全球客戶滿意度調(diào)查中，中微公司連續(xù)多年排名位居前列。2023年，公司榮獲“上海市科技進步一等獎”，并還多次入選福布斯中國最具創(chuàng)新力企業(yè)50強榜單。公司高度重視技術(shù)創(chuàng)新與知識產(chǎn)權(quán)保護，在產(chǎn)品開發(fā)過程中始終堅持“為技術(shù)的創(chuàng)新、設備的差異化和IP保護而開發(fā)”的企業(yè)文化。截至2024年6月，公司累計申請專利已達2648項，已獲授權(quán)專利1670項，其中發(fā)明專利占比高達85.87%。此外，公司兩次榮獲“中國專利金獎”，多次榮獲“中國專利優(yōu)秀獎”、“上海市發(fā)明創(chuàng)造專利獎”和“上海市知識產(chǎn)權(quán)創(chuàng)新獎”等獎項。如今，中微公司已成為中國國內(nèi)半導體設備的領(lǐng)先企業(yè)，也是國際半導體設備產(chǎn)業(yè)冉冉升起的一顆新星。

創(chuàng)新驅(qū)動，持續(xù)攀登

正是基于這樣的創(chuàng)新能力，中微公司在刻蝕設備、薄膜沉積設備、MOCVD設備等領(lǐng)域均取得了顯著成就。在刻蝕設備方面，憑借行業(yè)首創(chuàng)的刻蝕設備雙臺機技術(shù)，中微公司率先提出“皮米級”加工精度概念，其刻蝕精度已經(jīng)達到100“皮米”以下水平，相當于頭發(fā)絲350萬分之一的精準度，并且產(chǎn)品具備刻蝕應用覆蓋豐富等優(yōu)勢，能夠滿足90%以上的刻蝕應用需求，技術(shù)能力已覆蓋5納米及以下更先進水平。中微公司刻蝕設備市場占有率持續(xù)提升，不斷收到領(lǐng)先客戶的批量訂單。

中微公司持續(xù)加碼創(chuàng)新研發(fā)，在半導體薄膜沉積設備領(lǐng)域也不斷突破，推出了Preforma Uniflex? CW、Preforma Uniflex? HW、Preforma Uniflex? AW等多款新產(chǎn)品以滿足市場需求，為公司業(yè)務多元化發(fā)展提供了強勁的增長動能。此外，公司新開發(fā)的硅和鍺硅外延EPI設備、晶圓邊緣Bevel刻蝕設備等多款新產(chǎn)品，也會在近期投入市場驗證。

在MOCVD設備方面，中微公司自推出第一代MOCVD設備PRISMO A7?以來，不斷豐富產(chǎn)品線且快速升級迭代，目前在Mini LED等氮化鎵基設備領(lǐng)域，中微公司的市場占有率穩(wěn)居前列，并持續(xù)開發(fā)用于氮化鎵、碳化硅等功率器件及Micro-LED器件制造的MOCVD設備。此外，中微公司還通過投資布局了第四大設備市場——光學檢測設備。

在集成電路產(chǎn)業(yè)飛速發(fā)展的浪潮中，中微公司以高端半導體設備為核心，堅持技術(shù)的創(chuàng)新、產(chǎn)品的差異化和知識產(chǎn)權(quán)的保護，不斷開發(fā)具有市場競爭力的設備；同時，中微公司將整合產(chǎn)業(yè)鏈上下游和相關(guān)資源作為另一發(fā)力點，積極考慮投資和并購，推動公司更快發(fā)展。預計未來五到十年，中微公司將通過自主研發(fā)以及攜手行業(yè)合作伙伴，覆蓋集成電路關(guān)鍵領(lǐng)域50%至60%的設備。

夯實根基，蓄勢發(fā)力

隨著臨港產(chǎn)業(yè)化基地的全面投入使用，中微公司的未來發(fā)展藍圖正徐徐展開。2023年7月，14萬平方米的中微公司南昌生產(chǎn)研發(fā)基地落成并投入使用；目前，位于滴水湖畔的中微臨港總部暨研發(fā)大樓也正在建設中，建成后占地面積約10萬平方米。未來，中微公司的生產(chǎn)和研發(fā)基地總面積將達到約45萬平方米，為今后的大發(fā)展夯實基礎(chǔ)。

此外，中微公司也在全球多點布局，匯聚研發(fā)勢能。目前，中微公司的客戶遍布中國大陸和中國臺灣、新加坡、韓國、德國、意大利等10多個國家和地區(qū)，在全球范圍內(nèi)擁有2000多名員工，其中研發(fā)人員占比接近半數(shù)。

展望未來，中微公司將繼續(xù)秉持“攀登勇者，志在巔峰”的精神，踐行“四個十大”的企業(yè)文化，深入推進三維發(fā)展戰(zhàn)略，持續(xù)提升綜合競爭力，在技術(shù)進步、業(yè)務發(fā)展、業(yè)績增長、規(guī)范治理等方面不斷提高水平，實現(xiàn)高速、穩(wěn)定、健康和安全的發(fā)展，為客戶和市場提供性能優(yōu)越、高生產(chǎn)效率和高性價比的設備解決方案，為全球半導體行業(yè)的發(fā)展做出更大的貢獻。